CVD TaC örtügi

CVD TaC örtügine giriş:

CVD TaC örtügi, substratyň ýüzüne tantal karbidi (TaC) örtügini goýmak üçin himiki bug çökündisini ulanýan tehnologiýadyr. Tantal karbidi ajaýyp mehaniki we himiki häsiýetlere eýe bolan ýokary öndürijilikli keramiki materialdyr. CVD prosesi gaz reaksiýasy arkaly substratyň ýüzünde birmeňzeş TaC plýonkasyny döredýär.

Esasy aýratynlyklar:

Ajaýyp berklik we aşynma garşylygyTantal karbidi örän ýokary berklige eýedir we CVD TaC örtügi substratyň aşynma çydamlylygyny ep-esli gowulandyryp biler. Bu bolsa örtügi kesiji gurallar we galyplar ýaly ýokary aşynma şertlerinde ulanmak üçin ideal edýär.

Ýokary temperatura durnuklylygyTaC örtükleri peçiň we reaktoryň möhüm böleklerini 2200°C çenli temperaturada goraýar we gowy durnuklylygy görkezýär. Ol ekstremal temperatura şertlerinde himiki we mehaniki durnuklylygy saklaýar, bu bolsa ony ýokary temperaturada gaýtadan işlemek we ýokary temperatura şertlerinde ulanmak üçin amatly edýär.

Ajaýyp himiki durnuklylykTantal karbidi köp kislotalara we alkalilere güýçli korroziýa garşylygyna eýedir we CVD TaC örtügi korroziýa döredýän gurşawlarda substrata zyýan ýetmeginiň öňüni netijeli alyp biler.

Ýokary ereme nokadyTantal karbidiniň ýokary ereme nokady bar (takmynan 3880°C), bu bolsa CVD TaC örtügini örän ýokary temperatura şertlerinde eremezden ýa-da zaýalanmazdan ulanmaga mümkinçilik berýär.

Ajaýyp ýylylyk geçirijiligiTaC örtügi ýokary ýylylyk geçirijiligine eýedir, bu bolsa ýokary temperaturaly proseslerde ýylylygy netijeli ýaýratmaga we ýerli gyzgynlygyň öňüni almaga kömek edýär.

Potensial ulanylyşlar:

• Galliý nitridi (GaN) we kremniý karbidi epitaksial CVD reaktorynyň bölekleri, şol sanda wafer göterijileri, sputnik antennalary, duş başlyklary, potoloklar we susseptorlar

• Kremniý karbidi, galliý nitridi we alýumin nitridi (AlN) kristal ösüş komponentleri, şol sanda tigeller, tohum saklaýjylar, ýol görkeziji halkalar we süzgüçler

• Senagat bölekleri, şol sanda garşylykly gyzdyryjy elementler, inýeksiýa nasadkalary, maskalaýjy halkalar we lehimleme jigleri

Programmanyň aýratynlyklary:

• 2000°C-den ýokary temperatura durnukly, ekstremal temperaturalarda işlemäge mümkinçilik berýär
• Wodorod (Hz), ammiak (NH3), monosilan (SiH4) we kremniý (Si) täsirlerine çydamly, berk himiki gurşawlarda gorag üpjün edýär
• Onuň termal şoka garşylygy has çalt işleýiş sikllerini üpjün edýär
• Grafit güýçli ýelmeşmäge eýedir, bu bolsa uzak wagtlap hyzmat etmegi we örtügiň delaminasiýasynyň bolmazlygyny üpjün edýär.
• Gereksiz hapaçylyklary ýa-da hapaçylyklary aýyrmak üçin örän ýokary arassalyk
• Gaty ölçegli çydamlylyklara konformal örtük örtügi

Tehniki aýratynlyklar:

CVD arkaly dykyz tantal karbid örtüklerini taýýarlamak：

Ýokary kristallik we ajaýyp birmeňzeşlik bilen TAC örtügi:

CVD TAC ÖRTÜGI Tehniki Parametrler_Semicera:

Ýokardaky bahalar adaty gymmatlyklardyr.