Fotorezistiň örtük usullary, köplenç aýlaw örtügi, çukur örtügi we rulon örtügine bölünýär, olaryň arasynda iň köp ulanylýan aýlaw örtügi. Aýlaw örtügi bilen, fotorezist substrata damýar we fotorezist filmini almak üçin substrat ýokary tizlikde aýlanyp bilner. Ondan soň, gyzgyn tabakda gyzdyryp, gaty film alyp bolýar. Egriji örtük ultra inçe filmlerden (takmynan 20nm) 100m töweregi galyň filmlere örtmek üçin amatlydyr. Onuň aýratynlyklary gowy birmeňzeşlik, wafli arasynda birmeňzeş film galyňlygy, kemçilikler we ş.m. we ýokary örtükli film alyp bolýar.
Egriji örtük prosesi
Aýlanma örtügi wagtynda substratyň esasy aýlanma tizligi fotorezistiň film galyňlygyny kesgitleýär. Aýlanma tizligi bilen filmiň galyňlygynyň arasyndaky baglanyşyk aşakdaky ýaly:
Aýlanmak = kTn
Formulada, aýlanmak tizligi; T filmiň galyňlygy; k we n yzygiderli.
Egriji örtük prosesine täsir edýän faktorlar
Filmiň galyňlygy esasy aýlanma tizligi bilen kesgitlenýän hem bolsa, otagyň temperaturasy, çyglylygy, fotorezistleriň ýapyşyklygy we fotorezist görnüşi bilen hem baglanyşyklydyr. Dürli görnüşdäki fotorezist örtük egrilerini deňeşdirmek 1-nji suratda görkezilýär.
1-nji surat: Dürli görnüşli fotorezist örtük egrilerini deňeşdirmek
Esasy aýlanma wagtynyň täsiri
Esasy aýlanma wagty näçe gysga bolsa, filmiň galyňlygy galyň bolýar. Esasy aýlanma wagty köpelende film näçe inçe bolýar. 20-den geçende filmiň galyňlygy üýtgemän galýar. Şonuň üçin esasy aýlanma wagty adatça 20 sekuntdan köp bolmak üçin saýlanýar. Esasy aýlanma wagty bilen filmiň galyňlygynyň arasyndaky baglanyşyk 2-nji suratda görkezilýär.
2-nji surat: Esasy aýlanma wagty bilen filmiň galyňlygynyň arasyndaky baglanyşyk
Fotorezist substratyň üstüne atylanda, soňraky esasy aýlanma tizligi birmeňzeş bolsa-da, damjanyň aşagyndaky substratyň aýlanma tizligi soňky filmiň galyňlygyna täsir eder. Fotorezist filminiň galyňlygy, damýan wagtynda substratyň aýlanyş tizliginiň ýokarlanmagy bilen ýokarlanýar, bu fotorezist damjadan soň açylanda çözüji bugarmagyň täsiri bilen baglanyşyklydyr. 3-nji suratda, fotorezistiň dammagy wagtynda filmiň galyňlygy bilen dürli substratyň aýlanma tizliginde esasy aýlanma tizliginiň arasyndaky baglanyşyk görkezilýär. Suratdan damýan substratyň aýlanma tizliginiň ýokarlanmagy bilen filmiň galyňlygy has çalt üýtgeýär we esasy aýlaw tizligi pes bolan sebitde tapawut has aýdyň görünýär.
3-nji surat: Fotorezist paýlanylanda filmiň galyňlygy bilen dürli substratyň aýlanma tizliginde esasy aýlanma tizliginiň arasyndaky baglanyşyk
Örtük wagtynda çyglylygyň täsiri
Çyglylyk peselende, filmiň galyňlygy ýokarlanýar, sebäbi çyglylygyň peselmegi erginçiniň bugarmagyna kömek edýär. Şeýle-de bolsa, filmiň galyňlygynyň paýlanyşy düýpgöter üýtgemeýär. 4-nji suratda örtük wagtynda çyglylyk bilen filmiň galyňlygynyň paýlanyşynyň arasyndaky baglanyşyk görkezilýär.
4-nji surat: Örtük wagtynda çyglylyk bilen filmiň galyňlygynyň paýlanyşy
Örtük wagtynda temperaturanyň täsiri
Içerki temperatura ýokarlananda filmiň galyňlygy ýokarlanýar. 5-nji suratdan fotorezist filmiň galyňlygynyň paýlanyşynyň konweksden konkawa üýtgeýändigini görmek bolýar. Suratdaky egrilik, içerdäki temperatura 26 ° C we fotorezist temperaturasy 21 ° C bolanda iň ýokary birmeňzeşligiň alynýandygyny görkezýär.
5-nji surat: Örtük wagtynda temperatura bilen filmiň galyňlygynyň paýlanyşynyň arasyndaky baglanyşyk
Örtük wagtynda işleýiş tizliginiň täsiri
6-njy suratda egzoz tizligi bilen filmiň galyňlygynyň paýlanyşy görkezilýär. Egzoz ýok bolsa, wafliň merkeziniň galyňlaşýandygyny görkezýär. Egzoz tizligini ýokarlandyrmak birmeňzeşligi ýokarlandyrar, ýöne gaty köpeldilse birmeňzeşlik peseler. Egzoz tizligi üçin iň amatly bahanyň bardygyny görmek bolýar.
6-njy surat: Egzoz tizligi bilen filmiň galyňlygynyň paýlanyşy
HMDS bejergisi
Fotorezisti has örtükli etmek üçin wafli geksametildisilazan (HMDS) bilen bejermeli. Esasanam Si oksidi filminiň üstüne çyglylyk goşulanda, fotorezistiň ýelmeşmegini azaldýan silanol emele gelýär. Çyglylygy aýyrmak we silanoly dargatmak üçin wafli adatça 100-120 ° C çenli gyzdyrylýar we himiki reaksiýa döretmek üçin duman HMDS girizilýär. Reaksiýa mehanizmi 7-nji suratda görkezilýär. HMDS bejergisi arkaly kiçi kontakt burçly gidrofil üstü uly kontakt burçy bilen gidrofobiki ýüzüne öwrülýär. Wafli gyzdyrmak has ýokary fotorezist ýelimini alyp biler.
7-nji surat: HMDS reaksiýa mehanizmi
HMDS bejergisiniň täsirini kontakt burçuny ölçemek arkaly synlamak bolýar. 8-nji suratda HMDS bejergisiniň wagty we kontakt burçunyň (bejerginiň temperaturasy 110 ° C) arasyndaky baglanyşyk görkezilýär. Substrat Si, HMDS bejergisiniň wagty 1 minutdan, kontakt burçy 80 ° -dan ýokary we bejerginiň täsiri durnukly. 9-njy suratda HMDS bejergisiniň temperaturasy bilen kontakt burçunyň arasyndaky baglanyşyk görkezilýär (bejerginiň wagty 60s). Temperatura 120 exceed-dan geçende, kontakt burçy peselýär, bu HMDS-iň ýylylyk sebäpli çüýreýändigini görkezýär. Şonuň üçin HMDS bejergisi adatça 100-110 at derejesinde amala aşyrylýar.
8-nji surat: HMDS bejergisiniň wagtynyň arasyndaky baglanyşyk
we aragatnaşyk burçy (bejerginiň temperaturasy 110 ℃)
9-njy surat: HMDS bejergisiniň temperaturasy bilen kontakt burçunyň arasyndaky baglanyşyk (bejerginiň wagty 60s)
HMDS bejergisi, fotorezist nagşyny emele getirmek üçin oksid plyonkasy bilen kremniniň substratynda amala aşyrylýar. Oksid plýonkasy bufer goşulan gidroflorik kislota bilen emele gelýär we HMDS bejergisinden soň fotorezist nagşynyň gaçmazlygy mümkin. 10-njy suratda HMDS bejergisiniň täsiri görkezilýär (nagyş ululygy 1um).
10-njy surat: HMDS bejergisiniň täsiri (nagşyň ululygy 1um)
Prebaking
Şol bir aýlaw tizliginde, deslapky temperatura näçe ýokary bolsa, filmiň galyňlygy şonça-da az bolýar, bu bolsa deslapky temperatura näçe ýokary bolsa, şonça-da çözüjiniň bugaryp, filmiň galyňlygynyň has inçe bolandygyny görkezýär. 11-nji suratda çörek bişirilmezden öňki temperatura bilen Dilliň A parametriniň arasyndaky baglanyşyk görkezilýär. Parametr, duýgur duýgur serişdäniň konsentrasiýasyny görkezýär. Suratdan görnüşi ýaly, çörek bişirilmezden öňki temperatura 140 ° C-den ýokary bolanda, parametr peselýär, bu duýgur duýgur serişdäniň ondan has ýokary temperaturada dargandygyny görkezýär. 12-nji suratda dürli bişirilişden öňki temperaturalarda spektral geçiş görkezilýär. 160 ° C we 180 ° C-de, tolkun uzynlygy 300-500nm aralygynda geçişiň ýokarlanmagyny görmek bolýar. Bu, duýgur duýgur serişdäniň ýokary temperaturada bişirilendigini we dargandygyny tassyklaýar. Çörek bişirilişinden öňki temperatura, ýagtylyk aýratynlyklary we duýgurlygy bilen kesgitlenýän iň amatly bahadyr.
11-nji surat: Çörek bişirilmezden öňki temperatura bilen Dilliň A parametriniň arasyndaky baglanyşyk
(OFPR-800/2-iň ölçenen bahasy)
12-nji surat: Çörek bişirilişinden öňki dürli temperaturalarda spektral geçiş
(OFPR-800, 1um film galyňlygy)
Gysgaça aýdylanda, egirme örtük usuly filmiň galyňlygyna takyk gözegçilik etmek, ýokary çykdajyly öndürijilik, ýumşak iş şertleri we ýönekeý işlemek ýaly özboluşly artykmaçlyklara eýedir, şonuň üçin hapalanmagy azaltmakda, energiýany tygşytlamakda we çykdajylaryň netijeliligini ýokarlandyrmakda möhüm täsirleri bar. Soňky ýyllarda egirme örtük barha köpelip başlady we ulanylyşy kem-kemden dürli ugurlara ýaýrady.
Iş wagty: 27-2024-nji noýabr