PART / 1CVD (Himiki buglary çökdürmek) usuly: 900-2300 At, TaCl5 we CnHm-ni tantal we uglerod çeşmesi hökmünde ulanmak, H₂ atmosferany azaltmak, Ar₂as daşaýjy gazy, reaksiýa goýmak filmi.Taýýarlanan örtük ykjam, birmeňzeş we ýokary arassalykdyr.Şeýle-de bolsa, käbir kynçylyklar bar ...
Koprak oka