CVD SiC näme
Himiki bug çökdürilmegi (CVD), ýokary arassa gaty materiallary öndürmek üçin ulanylýan wakuum çöketlik prosesi. Bu amal köplenç ýarymgeçiriji önümçilik meýdanynda wafliň üstünde inçe filmleri emele getirýär. CVD tarapyndan SiC taýýarlanylanda, substrat bir ýa-da birnäçe üýtgäp durýan prekursorlara sezewar bolýar, olar islenýän SiC goýumyny goýmak üçin substratyň üstünde himiki reaksiýa berýär. SiC materiallaryny taýýarlamagyň köp usullarynyň arasynda himiki bug çöketligi bilen taýýarlanan önümleriň ýokary birmeňzeşligi we arassalygy bar we bu usul güýçli gözegçilik edip bilýär.
CVD SiC materiallary ýarymgeçiriji pudagynda ulanmak üçin örän amatly, ajaýyp ýylylyk, elektrik we himiki häsiýetleriň özboluşly utgaşmasy sebäpli ýokary öndürijilikli materiallary talap edýär. CVD SiC komponentleri eriş enjamlarynda, MOCVD enjamlarynda, Si epitaksial enjamlarda we SiC epitaksial enjamlarda, çalt ýylylyk gaýtadan işleýän enjamlarda we beýleki ugurlarda giňden ulanylýar.
Umuman aýdanyňda, CVD SiC komponentleriniň iň uly bazar segmenti enjamlaryň böleklerini düzmekdir. Pes reaktiwligi we hlorly we ftorly gazlandyryjy gazlara geçirijiligi sebäpli, CVD kremniy karbidi plazma enjamlarynda fokus halkalary ýaly komponentler üçin ideal materialdyr.
Döküm enjamlarynda CVD kremniy karbid komponentlerine fokus halkalary, gaz duşy kelleleri, tarelkalar, gyralar halkalary we ş.m. fokus halkasyny mysal hökmünde alyp, fokus halkasy wafli daşynda we wafli bilen göni aragatnaşykda möhüm elementdir. Plazma halkadan geçýän plazmany jemlemek üçin halka naprýa .eniýe ulanyp, gaýtadan işlemegiň birmeňzeşligini ýokarlandyrmak üçin plazma waflä gönükdirilýär.
Adaty fokus halkalary kremniden ýa-da kwarsdan ýasalýar. Integrirlenen zynjyr miniatýurizasiýasynyň ösmegi bilen, toplumlaýyn zynjyr önümçiliginde süýüm prosesleriniň islegi we ähmiýeti artýar we plazmanyň güýji we energiýasy artmagyny dowam etdirýär. Hususan-da, kuwwatly birleşdirilen (CCP) plazma enjamlarynda zerur bolan plazma energiýasy has ýokary, şonuň üçin kremniniň karbid materiallaryndan ýasalan fokus halkalarynyň ulanylyş tizligi ýokarlanýar. CVD kremniy karbid fokus halkasynyň shemasy aşakda görkezilýär:
Iş wagty: Iýun-20-2024