Ondarymgeçiriji önümçiliginde substraty ýa-da substratda emele gelen inçe filmi gaýtadan işlemekde “efirlemek” usuly bar. Eting tehnologiýasynyň ösüşi, Intel-iň esaslandyryjysy Gordon Muryň 1965-nji ýylda “tranzistorlaryň integrasiýa dykyzlygy 1,5-2 ýyldan iki esse artar” (köplenç “Muruň kanuny” diýlip atlandyrylýar) baradaky çaklamasyny amala aşyrmakda möhüm rol oýnady.
Dökmek çökdürmek ýa-da baglamak ýaly “goşundy” däl-de, “çekiji” prosesdir. Mundan başga-da, dürli gyryş usullaryna görä, “çygly dökülme” we “gury eriş” ýaly iki kategoriýa bölünýär. Simplyönekeý söz bilen aýdylanda, öňküsi eremegiň usuly, ikinjisi gazmagyň usulydyr.
Bu makalada, her bir arassalama tehnologiýasynyň aýratynlyklaryny we tapawutlaryny, çygly dökülmegi we gury erişleri, şeýle hem hersiniň amatly ýerleri barada gysgaça düşündireris.
Dökmek prosesine syn
Dökmek tehnologiýasy Europeewropanyň XV asyryň ortalarynda dörändigi aýdylýar. Şol döwürde ýalaňaç misiň poslamagy üçin intaglio emele getirmek üçin oýulan mis tabaga kislota guýuldy. Poslamanyň täsirinden peýdalanýan ýerüsti bejeriş usullary “gyjyndyrma” diýlip atlandyrylýar.
Ondarymgeçiriji önümçiliginde emele gelişiň maksady, çyzgy boýunça substraty ýa-da filmi kesmek. Filmiň emele gelişiniň, fotolitografiýanyň we nagyşlaryň taýýarlyk ädimlerini gaýtalamak bilen, meýilnama gurluşy üç ölçegli gurluşa gaýtadan işlenýär.
Çygly we gury etiň arasyndaky tapawut
Fotolitografiýa prosesinden soň, açyk substrat çygly ýa-da gury görnüşde emele gelýär.
Çygly efirlemek, ýüzüni ýok etmek we ýok etmek üçin ergin ulanýar. Bu usul çalt we arzan işlenip bilinse-de, onuň ýetmezçiligi, gaýtadan işlemegiň takyklygynyň birneme pes bolmagydyr. Şonuň üçin gury eriş 1970-nji ýylda doguldy. Gury eriş ergin ulanmaýar, ýöne ýokary gaýtadan işleýiş takyklygy bilen häsiýetlendirilýän substratyň ýüzüne çyzmak üçin gaz ulanýar.
“Izotropiýa” we “Anizotropiýa”
Çygly we gury etiň arasyndaky tapawut girizilende, esasy sözler “izotrop” we “anizotrop”. Izotropiýa, materiýanyň we giňişligiň fiziki häsiýetleriniň ugur bilen üýtgemeýändigini, anizotropiýa materiýanyň we giňişligiň fiziki aýratynlyklarynyň ugur bilen üýtgeýändigini aňladýar.
Izotrop çişmegi, belli bir nokadyň töwereginde deň mukdarda girdeji alýandygyny, anizotrop çişmegi belli bir nokadyň töwereginde dürli ugurlarda dowam edýändigini aňladýar. Mysal üçin, ýarymgeçiriji önümçiliginde dökülende, anizotrop görnüşi köplenç beýleki maksatlaryň üýtgemezligi üçin diňe maksat ugrunyň gyrylmagy üçin saýlanýar.
“Izotrop eti” we “Anizotrop eti” suratlary
Himiki serişdeleri ulanmak bilen çygly dökmek.
Çygly arassalamak himiki we substratyň arasynda himiki reaksiýany ulanýar. Bu usul bilen, anizotrop çişmegi mümkin däl, ýöne izotrop çişmekden has kyn. Çözgütleriň we materiallaryň birleşmeginde köp çäklendirmeler bar we substratyň temperaturasy, erginiň konsentrasiýasy we goşmaça mukdar ýaly şertler berk gözegçilikde saklanmalydyr.
Şertler näçe gowy düzedilse-de, çygly dökülmegi 1 mk-dan pes derejede gaýtadan işlemek kyn. Munuň bir sebäbi, gapdal çişmegi gözegçilikde saklamakdyr.
Undercutting - bu undercutting diýlip hem atlandyrylýan hadysadyr. Hatda materialyň diňe dik ugurda (çuňluk ugrunda) çygly eremegi bilen erär diýip umyt edilse-de, çözgüdiň iki tarapa urmagynyň öňüni alyp bolmaýar, şonuň üçin materialyň parallel ugurda dargamagy hökmany suratda dowam eder . Bu hadysa sebäpli, çygly dökmek, maksat giňliginden has dar bölümleri öndürýär. Şeýlelik bilen, takyk tok gözegçiligini talap edýän önümleri gaýtadan işlenende, köpelmek pes we takyklygy ygtybarly däl.
Çygly dökülmegiň bolup biläýjek şowsuzlyklaryna mysallar
Näme üçin gury eriş mikromachinasiýa üçin amatly?
Baglanyşykly sungatyň beýany Anizotrop çişmegi üçin amatly gury eriş, ýokary takyk işlemegi talap edýän ýarymgeçiriji önümçilik proseslerinde ulanylýar. Gury dökülme köplenç reaktiw ion dökülmesi (RIE) diýilýär, bu plazma dökülmesini we giň manyda tüýkürmegi hem öz içine alyp biler, ýöne bu makala RIE-e gönükdiriler.
Anizotrop çişmegiň gury eriş bilen näme üçin aňsatdygyny düşündirmek üçin, RIE prosesine has içgin seredeliň. Gury dökülmegi we substraty döwmek prosesini iki görnüşe bölmek arkaly düşünmek aňsat: “himiki siňdiriş” we “fiziki eriş”.
Himiki çişme üç ädimde bolýar. Ilki bilen, reaktiw gazlar ýer ýüzüne ýerleşdirilýär. Reaksiýa önümleri soňra reaksiýa gazyndan we substrat materialdan emele gelýär we ahyrsoňy reaksiýa önümleri zaýalanýar. Ondan soňky fiziki çişirilende, substrata argon gazyny dikligine ulanyp, substrat dikligine aşaklygyna çyzylýar.
Himiki dökülme izotropiki ýagdaýda ýüze çykýar, fiziki çişme bolsa gazyň ulanylyş ugruna gözegçilik etmek arkaly anizotrop görnüşde bolup biler. Bu fiziki gyjyndyrma sebäpli, gury dökülme, çygly dökülmä garanyňda, ugry ugruna has köp gözegçilik etmäge mümkinçilik berýär.
Gury we çygly dökülmeler, çygly dökülmeler ýaly berk şertleri talap edýär, ýöne çygly dökülmeden has köp öndürijiligi we gözegçilikde saklamak üçin has aňsat zatlary bar. Şonuň üçin gury erişiň senagat önümçiligine has amatlydygyna şek ýok.
Näme üçin çygly dökülmeli?
Gudratygüýçli gury dökülmä düşüneniňizden soň, çygly dökülmäniň näme üçin henizem bardygyny bilip bilersiňiz. Şeýle-de bolsa, munuň sebäbi ýönekeý: çygly dökmek önümi arzanlaşdyrýar.
Gury eriş bilen çygly arassalamagyň esasy tapawudy çykdajydyr. Çygly arassalamakda ulanylýan himiki serişdeler beýle gymmat däl we enjamyň bahasynyň gury eriş enjamlarynyň takmynan 1/10 bölegidigi aýdylýar. Mundan başga-da, gaýtadan işlemegiň wagty gysga we birnäçe substrat bir wagtyň özünde gaýtadan işlenip, önümçilik çykdajylaryny azaldar. Netijede, bäsdeşlerimizden artykmaçlyk berip, önüm çykdajylaryny pes saklap bileris. Gaýtadan işlemegiň takyklygy üçin talaplar ýokary bolmasa, köp kompaniýalar köpçülikleýin önümçilik üçin çygly çişmegi saýlarlar.
Dökmek prosesi mikrofabrika tehnologiýasynda rol oýnaýan proses hökmünde girizildi. Dökmek prosesi takmynan çygly we gury erişlere bölünýär. Bahasy möhüm bolsa, öňküsi has gowudyr we 1 mk-dan pes mikroprosessiýa zerur bolsa, ikinjisi has gowudyr. Iň gowusy, haýsysynyň gowudygyny däl-de, öndürilmeli önümiň we çykdajylaryň esasynda bir prosesi saýlap bolýar.
Iş wagty: 16-2024-nji aprel