Önümçilik liniýasynyň öň tarapy, binanyň düýbüni tutmak we jaýyň diwarlaryny gurmak ýalydyr. Ondarymgeçiriji önümçiliginde bu etap kremniý wafli esasy gurluşlary we tranzistorlary döretmegi öz içine alýar.
FEOL-yň esasy ädimleri:
1. Arassalamak:Inçe kremniý wafli bilen başlaň we hapalary aýyrmak üçin arassalaň.
2. Okislenme:Çipiň dürli böleklerini izolirlemek üçin wafli kremniniň dioksidiniň bir gatlagyny ösdüriň.
3. Fotolitografiýa:Lightagtylyk bilen meýilnamalary çyzmak ýaly, wafli nagyşlary fotolitografiýany ulanyň.
4. Etching:Islenýän nagyşlary ýüze çykarmak üçin islenmeýän kremniniň dioksidini çykaryň.
5. Doping:Islendik çipiň esasy gurluş bölekleri bolan tranzistorlary döredip, elektrik häsiýetlerini üýtgetmek üçin kremniniň içine hapalary giriziň.
Çyzygyň ortasy (MEOL): Nokatlary birleşdirmek
Önümçilik liniýasynyň ortasy bir jaýa sim we sanitar-tehniki enjam gurmak ýalydyr. Bu etap, FEOL tapgyrynda döredilen tranzistorlaryň arasynda baglanyşyk gurmaga gönükdirilendir.
MEOL-yň esasy ädimleri:
1. Dielektrik çöketligi:Tranzistorlary goramak üçin izolýasiýa gatlaklaryny (dielektrik diýilýär) goýuň.
2. Aragatnaşyk formasy:Tranzistorlary biri-birine we daşarky dünýä birikdirmek üçin aragatnaşyk guruň.
3. Özara baglanyşyk:Elektrik signallary üçin ýollary döretmek üçin demir gatlaklary goşuň, bökdençsiz güýji we maglumat akymyny üpjün etmek üçin jaý simine meňzeýär.
Çyzygyň yzky ujy (BEOL): Tamamlamak
-
Önümçilik liniýasynyň arka tarapy, jaýa iň soňky täsirleri goşmak - gurallary oturtmak, reňklemek we hemme zadyň işlemegini üpjün etmek ýalydyr. Ondarymgeçiriji önümçiliginde bu etap soňky gatlaklary goşmagy we çipi gaplamaga taýýarlamagy öz içine alýar.
BEOL-yň esasy ädimleri:
1. Goşmaça metal gatlaklary:Çipiň çylşyrymly meseleleri we ýokary tizlikleri ýerine ýetirip biljekdigini üpjün edip, özara baglanyşygy güýçlendirmek üçin birnäçe metal gatlak goşuň.
2. Passiwasiýa:Çipi daşky gurşawa ýetirýän zyýandan goramak üçin gorag gatlaklaryny ulanyň.
3. Synag:Çipiň ähli aýratynlyklara laýyk gelýändigini anyklamak üçin berk synagdan geçiriň.
4. Baha bermek:Wafli aýratyn çiplere bölüň, hersi gaplamaga we elektron enjamlarynda ulanmaga taýyn.
Iş wagty: Iýul-08-2024