Fotorezist häzirki wagtda optoelektron maglumat pudagynda inçe grafiki zynjyrlary gaýtadan işlemekde we öndürmekde giňden ulanylýar. Fotolitografiýa prosesiniň bahasy, çip öndürmek prosesiniň takmynan 35% -ini, wagt sarp edilişi bolsa ähli çip prosesiniň 40% -den 60% -ine çenli. Ondarymgeçiriji önümçiliginiň esasy prosesi. Fotorezist materiallary çip öndürýän materiallaryň umumy bahasynyň takmynan 4% -ini emele getirýär we ýarymgeçirijiniň toplumlaýyn zynjyr önümçiligi üçin esasy materialdyr.
Hytaýyň fotorezist bazarynyň ösüş depgini halkara derejesinden has ýokary. Geljegi uly senagat gözleg institutynyň maglumatlaryna görä, 2019-njy ýylda meniň ýurdumda fotorezistiň ýerli üpjünçiligi takmynan 7 milliard ýuana, 2010-njy ýyldan bäri birleşýän ösüş depgini 11% -e ýetdi, bu dünýädäki ösüş depgininden has ýokary. Şeýle-de bolsa, ýerli üpjünçilik dünýädäki paýyň bary-ýogy 10% -ini tutýar we içerki çalyşma esasan pes derejeli PCB fotorezistleri üçin gazanyldy. LCD we ýarymgeçiriji meýdanlardaky fotorezistleriň öz-özüni üpjün etmek derejesi gaty pes.
Fotorezist, maska nagyşyny substrata geçirmek üçin ýagty reaksiýadan soň dürli çözgüdi ulanýan grafiki geçiriş serişdesidir. Esasan fotosensiw agentden (fotoinitiator), polimerizordan (fotosensiw rezin), çözüji we goşundydan durýar.
Fotorezistiň çig maly esasan rezin, çözüji we beýleki goşundylardyr. Olaryň arasynda çözüji iň uly paýy tutýar, umuman 80% -den gowrak. Beýleki goşundylar massanyň 5% -inden hem az bolsa-da, fotorezitizatorlary, surfaktantlary we beýleki materiallary goşmak bilen fotorezistiň özboluşly aýratynlyklaryny kesgitleýän esasy materiallardyr. Fotolitografiýa prosesinde fotorezist kremniý wafli, aýna we metal ýaly dürli substratlarda deň derejede örtülendir. Täsir edilenden, işlenip düzülenden soň, maskadaky nagyş, maska doly laýyk gelýän geometrik nagşy emele getirmek üçin filme geçirilýär.
Fotorezisti, aşaky amaly meýdanlaryna görä üç kategoriýa bölüp bolar: ýarymgeçiriji fotorezist, panel fotorezist we PCB fotorezist.
Ondarymgeçiriji fotorezist
Häzirki wagtda KrF / ArF esasy işleýiş materialy bolup durýar. Integrirlenen zynjyrlaryň ösmegi bilen, fotolitografiýa tehnologiýasy G-line (436nm) daşbasma, H-line (405nm) daşbasma, I-line (365nm) daşbasma, çuňňur ultramelewşe DUV daşbasma (KrF248nm), ArF193nm-den geçdi. 193nm suwa çümdürmek we köp sanly şekillendiriş tehnologiýasy (32nm-7nm), soň aşa ultramelewşe (EUV, <13.5nm) daşbasma, hatda optiki däl daşbasma (elektron şöhlesiniň täsiri, ion şöhlesiniň täsiri) we fotosensiw tolkun uzynlygy hökmünde degişli tolkun uzynlygy bolan dürli fotorezistler hem ulanyldy.
Fotorezist bazary, senagat konsentrasiýasynyň ýokary derejesine eýe. Companiesarymgeçiriji fotorezistler pudagynda ýapon kompaniýalary düýbünden artykmaçlyga eýe. Ondarymgeçirijiniň esasy fotorezist öndürijileri Tokio Ohka, JSR, Sumitomo Chemical, inaponiýadaky Shin-Etsu Chemical; Günorta Koreýadaky Dongjin ýarymgeçiriji; we ABŞ-daky DowDuPont, bazar paýynyň 70% -ini ýapon kompaniýalary eýeleýär. Önümler boýunça Tokio Ohka g-line / i-line we Krf fotorezistleri boýunça öňdäki orunlary eýeleýär, bazar paýlary degişlilikde 27,5% we 32,7%. JSR, Arf fotorezisti pudagynda iň ýokary bazar paýyna eýe bolup, 25,6%.
Fuji Ykdysady çaklamalara görä, dünýädäki ArF we KrF ýelim önümçiliginiň kuwwaty 2023-nji ýylda 1870 we 3650 tonna ýeter, bazaryň göwrümi 4,9 milliard we 2,8 milliard ýuana deňdir. Photapon fotorezist liderleri JSR we TOK, şol sanda fotorezistiň jemi girdejisi 40% töweregi, fotorezist çig malynyň bahasy 90% töweregi.
Icarymgeçiriji fotorezist öndürijilerine Şanhaý Sinýang, Nanjing Optoelektronika, Jingrui Co., Ltd., Pekin Kehua we Hengkun Co., Ltd. girýär. Häzirki wagtda diňe Pekin Kehua we Jingrui Co., Ltd. KrF fotorezistini köpçülikleýin öndürip bilýär. , we Pekin Kehua önümleri SMIC-e iberildi. Şanhaý Sinýangda gurulýan ýylda 19,000 tonna ArF (gury proses) fotorezist taslamasynyň 2022-nji ýylda doly önümçilige ýetmegine garaşylýar.
Panel fotorezisti
Fotorezist LCD panel öndürmek üçin esasy materialdyr. Dürli ulanyjylaryň pikiriçe, ony RGB ýelimi, BM ýelimi, OC ýelimi, PS ýelimi, TFT ýelimi we ş.m. bölmek mümkin.
Panel fotorezistleri esasan dört kategoriýany öz içine alýar: TFT simli fotorezistler, LCD / TP spacer fotorezistleri, reňkli fotorezistler we gara fotorezistler. Olaryň arasynda ITO simleri üçin TFT simli fotorezistler, LCD / TP ýagyş fotorezistleri LCD hemişelik iki aýna substratyň arasynda suwuk kristal materialyň galyňlygyny saklamak üçin ulanylýar. Reňkli fotorezistler we gara fotorezistler reňk süzgüçlerine reňk bermek funksiýalaryny berip bilerler.
Panel fotorezist bazary durnukly bolmaly we reňkli fotorezistlere isleg öňde barýar. Global satuwlaryň 22,900 tonna, satuwlaryň bolsa 2022-nji ýylda 877 million dollara ýetmegine garaşylýar.
2022-nji ýylda TFT panel fotorezistleriniň, LCD / TP spacer fotorezistleriniň we gara fotorezistleriň satuwynyň degişlilikde 321 million ABŞ dollaryna, 251 million ABŞ dollaryna we 199 million dollara ýetmegine garaşylýar. Ösüş depgini takmynan 4% bolan 2020-nji ýylda 16,7 milliard RMB. Biziň çaklamalarymyza görä, fotorezist bazary 2025-nji ýyla çenli 20,3 milliard RMB-a ýeter. Şolaryň arasynda LCD senagat merkeziniň geçirilmegi bilen LCD fotorezistiniň bazaryň göwrümi we lokalizasiýa derejesi kem-kemden ýokarlanar diýlip garaşylýar.
PCB fotorezist
PCB fotorezistini örtük usuly boýunça UV bejeriş syýa we UV pürküji syýa bölmek bolar. Häzirki wagtda içerki PCB syýa üpjün edijileri ýuwaş-ýuwaşdan içerki çalyşmagy gazandylar we Rongda Photosensitive we Guangxin Materials ýaly kompaniýalar PCB syýa esasy tehnologiýalaryny özleşdirdiler.
Içerki TFT fotorezist we ýarymgeçiriji fotorezist entek gözleg işinde. “Jingrui Co. Şolaryň arasynda “Feikai Materials” we “Beixu Electronics” ýylda 5000 tonna çenli önümçilik kuwwatyny meýilleşdirdi. “Yak Technology” bu bazara “LG Chem” -iň reňkli fotorezist bölümini satyn alyp, kanallarda we tehnologiýalarda artykmaçlyklaryna eýe.
Fotorezist ýaly aşa ýokary tehniki päsgelçilikleri bolan pudaklar üçin tehniki derejedäki üstünlikleri gazanmak esas bolup durýar, ikinjiden, ýarymgeçiriji pudagynyň çalt ösmeginiň zerurlyklaryny kanagatlandyrmak üçin prosesleriň yzygiderli kämilleşdirilmegi zerurdyr.
Önüm maglumatlary we maslahat üçin web sahypamyza hoş geldiňiz.
Iş wagty: 27-2024-nji noýabr