Adaty TaC örtülen grafit böleklerini taýýarlamak usuly

Bölüm / 1
CVD (Himiki bug çöketligi) usuly:
TaCl ulanyp, 900-2300 At₅we CnHm tantal we uglerod çeşmesi hökmünde, H₂ atmosferany azaldýan ýaly, Ar₂as daşaýjy gazy, reaksiýa çöketlik filmi. Taýýarlanan örtük ykjam, birmeňzeş we ýokary arassalykdyr. Şeýle-de bolsa, çylşyrymly proses, gymmat çykdajy, howa akymyna gözegçilik etmek we çökdürmegiň pesligi ýaly käbir meseleler bar.
Bölüm / 2
Gümürtik sinter usuly:
Uglerod çeşmesini, tantal çeşmesini, dispersant we baglaýjyny öz içine alýan süýüm grafit bilen örtülendir we guradylandan soň ýokary temperaturada süzülýär. Taýýar örtük yzygiderli ugrukdyrylman ösýär, arzan bahasy we uly göwrümli önümçilik üçin amatly. Uly grafitde birmeňzeş we doly örtük gazanmak, goldaw kemçiliklerini aradan aýyrmak we örtük baglanyşygyny güýçlendirmek üçin entek öwrenilmeli.
Bölüm / 3
Plazma sepmek usuly:
TaC tozy, ýokary temperaturada plazma arkasy bilen eredilýär, ýokary tizlikli uçar bilen ýokary temperatura damjalaryna atomlaşdyrylýar we grafit materialynyň üstüne sepilýär. Wakuum däl astynda oksid gatlagyny emele getirmek aňsat we energiýa sarp edilişi köp.

 

Surat. GaN epitaksial ösen MOCVD enjamynda (Veeco P75) ulanylandan soň wafli lýubo. Çep tarapdaky biri TaC bilen, sag tarapy bolsa SiC bilen örtülendir.

TaC örtükligrafit bölekleri çözülmeli

Bölüm / 1
Baglaýjy güýç:
TaC bilen uglerod materiallarynyň arasyndaky ýylylyk giňelme koeffisiýenti we beýleki fiziki häsiýetleri dürli-dürli, örtük baglanyşygynyň güýji pes, çatryklardan, gözeneklerden we termiki streslerden gaça durmak kyn, örtük çüýrän we hakyky atmosferada gabygyny aýyrmak aňsat we gaýtalanmak we sowatmak prosesi.
Bölüm / 2
Arassalygy:
TaC örtüktemperatureokary temperaturaly şertlerde hapalardan we hapalanmakdan gaça durmak üçin aşa ýokary arassalyk bolmaly, doly örtügiň üstünde we içindäki erkin uglerod we iç hapalarynyň täsirli mazmun standartlary we häsiýetlendiriş ülňüleri ylalaşylmalydyr.
Bölüm / 3
Durnuk:
2300 above-dan ýokary temperatura garşylygy we himiki atmosfera garşylygy örtügiň durnuklylygyny barlamak üçin iň möhüm görkezijilerdir. Çukurlar, çatryklar, ýitirilen burçlar we ýeke-täk ugrukdyrylan däne araçäkleri poslaýjy gazlaryň grafitlere aralaşmagyna we örtülmegine sebäp bolup, örtügi goramagyň näsazlygyna sebäp bolýar.
Bölüm / 4
Okislenmä garşylyk:
TaC 500 above-dan ýokary bolanda Ta2O5-e okislenip başlaýar we temperaturanyň we kislorodyň konsentrasiýasynyň ýokarlanmagy bilen okislenme tizligi ýokarlanýar. Surfaceerüsti okislenme däne araçäklerinden we ownuk dänelerden başlaýar we kem-kemden sütün kristallaryny we döwülen kristallary emele getirýär, netijede köp boşluklar we deşikler bolýar we örtük aýrylýança kislorodyň aralaşmagy güýçlenýär. Alnan oksid gatlagynyň ýylylyk geçirijiligi pes we daşky görnüşi dürli reňklere eýe.
Bölüm / 5
Birmeňzeşlik we gödeklik:
Örtügiň ýeriniň deň däl paýlanmagy ýerli ýylylyk stresiniň konsentrasiýasyna sebäp bolup, ýarylmak we dökülmek howpuny ýokarlandyryp biler. Mundan başga-da, ýerüsti çişlik örtük bilen daşky gurşawyň özara täsirine gönüden-göni täsir edýär we aşa ýokary gödeklik wafli we deň däl ýylylyk meýdany bilen sürtülmäniň aňsatlaşmagyna sebäp bolýar.
Bölüm / 6
Dänäniň ululygy:
Dänäniň birmeňzeş ululygy örtügiň durnuklylygyna kömek edýär. Dänäniň ululygy az bolsa, baglanyşyk berk däl we okislenmek we poslamak aňsat, netijede dänäniň gyrasynda köp sanly çatryklar we deşikler bolýar, bu örtügiň gorag işini peseldýär. Dänäniň ululygy gaty uly bolsa, birneme gödek we ýylylyk stresinde örtük aňsat bolýar.