Arassaçylykwafliindiki ýarymgeçiriji prosesleriň we önümleriň kär derejesine uly täsir eder. Hasyl ýitgileriniň 50% -ine çenli sebäp bolýarwaflihapalanmak.
Enjamyň elektrik öndürijiliginde ýa-da enjam öndürmek prosesinde gözegçiliksiz üýtgemelere sebäp bolup biljek obýektlere köpçülikleýin hapalar diýilýär. Hapalaýjylar wafliň özünden, arassa otagdan, gaýtadan işleýän gurallardan, himiki serişdelerden ýa-da suwdan gelip biler.Waferhapalanma, adatça wizual syn etmek, prosesi barlamak ýa-da soňky enjam synagynda çylşyrymly seljeriş enjamlaryny ulanmak arkaly ýüze çykyp biler.
Sil Silikon wafli üstündäki hapalar | Surat çeşmesi ulgamy
Hapalanmak derňewiniň netijeleri, ýüze çykan hapalanma derejesini we görnüşini görkezmek üçin ulanylyp bilnerwaflibelli bir proses ädiminde, belli bir maşyn ýa-da umumy proses. Ectionüze çykarmak usullarynyň klassifikasiýasyna laýyklykda,waflihapalanmagy aşakdaky görnüşlere bölmek mümkin.
Metalyň hapalanmagy
Metallardan emele gelen hapalanma, ýarymgeçiriji enjamyň dürli derejedäki kemçiliklerine sebäp bolup biler.
Alkali metallary ýa-da gidroksidi toprak metallary (Li, Na, K, Ca, Mg, Ba we ş.m.) pn gurluşynda syzma tokynyň döremegine sebäp bolup biler, bu bolsa öz gezeginde oksidiň naprýa; eniýe naprýa; eniýesine sebäp bolýar; geçiş metal we agyr metal (Fe, Cr, Ni, Cu, Au, Mn, Pb we ş.m.) hapalanmagy daşaýjynyň ömrüni azaldyp, komponentiň işleýiş möhletini azaldyp ýa-da komponent işleýän wagty garaňky toky artdyryp biler.
Metalyň hapalanmagyny kesgitlemegiň umumy usullary rentgen şöhlelenmesiniň, atomyň siňdiriş spektroskopiýasy we induktiw birleşdirilen plazma köpçülik spektrometri (ICP-MS) bolup durýar.
Surfer Waferiň hapalanmagy | Gözleg
Metalyň hapalanmagy arassalamakda, arassalamakda, daşbasmakda, daşlaşdyrmakda we ş.m. ulanylýan reagentlerden ýa-da peçler, reaktorlar, ion implantasiýasy we ş.m. ýaly ulanylýan maşynlardan bolup biler ýa-da seresapsyz wafli işlemegi sebäpli bolup biler.
Bölejikleriň hapalanmagy
Hakyky material ýataklary, adatça ýerüsti kemçiliklerden ýaýran ýagtylygy ýüze çykarmak arkaly syn edilýär. Şonuň üçin bölejikleriň hapalanmagy üçin has takyk ylmy at, ýeňil nokat. Bölejikleriň hapalanmagy, daşlaşma we daşbasma proseslerinde blokirlemäge ýa-da maskalanmagyna sebäp bolup biler.
Filmiň ulalmagy ýa-da çökmegi wagtynda çukurlar we mikrowoidler emele gelýär we bölejikler uly we geçiriji bolsa, hatda gysga zynjyrlara hem sebäp bolup biler.
Partic Bölejikleriň hapalanmagynyň emele gelmegi | Surat çeşmesi ulgamy
Ujypsyzja bölejikleriň hapalanmagy, fotolitografiýa ýaly ýerdäki kölegelere sebäp bolup biler. Uly bölejikler fotomask bilen fotorezist gatlagynyň arasynda ýerleşýän bolsa, kontakt täsiriniň çözgüdini azaldyp biler.
Mundan başga-da, ion implantasiýasy ýa-da gury eriş wagtynda çaltlaşdyrylan ionlary ýapyp bilerler. Bölekler film bilen gurşalyp bilner, şonuň üçin böwetler we böwetler bolar. Ondan soňky goýlan gatlaklar, bu ýerlerde ýygnanmagy döwüp ýa-da garşy durup biler, täsir etmek wagtynda kynçylyk döredip biler.
Organiki hapalanma
Uglerody öz içine alýan hapalara, şeýle hem C bilen baglanyşykly gurluşlara organiki hapalanma diýilýär. Organiki hapalar, garaşylmadyk gidrofob häsiýetlerine sebäp bolup bilerwafli, ýerüsti çişligi ýokarlandyrmak, howply ýer öndürmek, epitaksial gatlagyň ösmegini bozmak we hapalar ilki ýok edilmese metal hapalanmagynyň arassalaýyş täsirine täsir etmek.
Şeýle ýerüsti hapalanma, adatça termiki desorpsiýa MS, rentgen fotoelektron spektroskopiýasy we Auger elektron spektroskopiýasy ýaly gurallar bilen kesgitlenýär.
▲ Surat çeşmesi ulgamy
Gaz bilen hapalanmak we suw bilen hapalanmak
Atmosfera molekulalary we molekulýar ululykdaky suw bilen hapalanmak, adatça ýokary ýokary täsirli bölejik howa (HEPA) ýa-da aşa pes aralaşýan howa süzgüçleri (ULPA) bilen aýrylmaýar. Şeýle hapalanma, adatça ion massasy spektrometri we kapilýar elektroforezi bilen gözegçilik edilýär.
Käbir hapalaýjylar birnäçe kategoriýa degişli bolup biler, mysal üçin bölejikler organiki ýa-da metal materiallardan ýa-da ikisinden hem bolup biler, şonuň üçin hapalanmagyň bu görnüşi beýleki görnüşlere-de bölünip bilner.
▲ Gazly molekulýar hapalaýjylar | IONICON
Mundan başga-da, wafli hapalanmagy molekulýar hapalanma, bölejikleriň hapalanmagy we hapalanma çeşmesiniň ululygyna görä emele gelen galyndylaryň hapalanmagy ýaly toparlara bölünip bilner. Hapalanýan bölejigiň ululygy näçe kiçi bolsa, şonça-da aýyrmak kyn. Häzirki zaman elektron komponentlerini öndürmekde, wafli arassalamak proseduralary ähli önümçilik prosesiniň 30% - 40% -ini tutýar.
Sil Silikon wafli üstündäki hapalar | Surat çeşmesi ulgamy
Iş wagty: Noýabr-18-2024