Rolling, kremniniň ýeke kristal çybygynyň daşky diametrini göwher ýylmaýjy tigir ulanyp, zerur diametriň ýekeje kristal çybygyna üwemek we tekiz gyrasy salgylanma ýüzüni ýa-da ýekeje kristal çybygyň ýerleşiş çyzygyny aňladýar.
Cryeke kristal peç tarapyndan taýýarlanan ýekeje kristal çybygyň daşky diametri tekiz we tekiz däl we diametri soňky programmada ulanylýan kremniniň wafliniň diametrinden has uly. Gerekli hasanyň diametri daşky diametri aýlamak arkaly alnyp bilner.
Tegelýän degirmen tekiz gyrasy salgylanma ýüzüni ýa-da kremniniň ýeke kristal çybygynyň ýerleşdiriji çukuryny üwemek, ýagny zerur diametri bolan ýeke kristal çybykda ugrukdyryjy synag geçirmek wezipesine eýedir. Şol togalanýan degirmen enjamlarynda tekiz gyrasy salgylanma ýüzügi ýa-da ýekeje kristal çybygyň ýerleşen ýeri. Adatça, diametri 200 mm-den az bolan ýekeje kristal çybyklar tekiz gyrasy salgylanma ýüzlerini, diametri 200mm we ondan ýokary bolan ýekeje kristal çybyklary ýerleşiş çukurlaryny ulanýar. Diametri 200mm bolan ýekeje kristal çybyklar zerur bolanda tekiz gyrasy salgylanma ýüzleri bilen hem ýasalyp bilner. Cryeke-täk kristal çybyk ugrukdyryş ýüzüniň maksady, toplumlaýyn zynjyr önümçiliginde proses enjamlarynyň awtomatiki ýerleşdiriş işiniň zerurlyklaryny kanagatlandyrmak; önümçiligi dolandyrmagy ýeňilleşdirmek üçin kremniý wafli we ş.m. kristal ugruny we geçirijilik görnüşini görkezmek; esasy ýerleşiş gyrasy ýa-da ýerleşiş çukury <110> ugruna perpendikulýar. Çip gaplamak prosesinde, baha kesmek prosesi wafliň tebigy ýarylmagyna sebäp bolup biler we ýerleşiş bölekleriň döremeginiň öňüni alyp biler.
Tegelek etabyň esasy maksatlary şulary öz içine alýar: surfaceerüsti hilini ýokarlandyrmak: Tegelek kremniý wafli üstündäki gabyklary we deňsizligi aýryp biler we soňraky fotolitografiýa we efir prosesleri üçin örän möhüm bolan kremniy wafli üstleriniň tekizligini ýokarlandyryp biler. Stressi azaltmak: Silikon wafli kesilende we gaýtadan işlenilende stres döräp biler. Tegelek, bu stresleri boşatmaga we kremniý wafli indiki amallaryň bozulmagynyň öňüni alyp biler. Silikon wafli mehaniki kuwwatyny ýokarlandyrmak: Tegelek prosesinde kremniý wafli gyralary has ýumşak bolar, bu kremniý wafli mehaniki güýjüni ýokarlandyrmaga we daşamak we ulanmak wagtynda zyýany azaltmaga kömek eder. Ölçegli takyklygy üpjün etmek: roundarymgeçiriji enjamlary öndürmek üçin möhüm ähmiýete eýe bolan kremniý wafli ölçegli takyklygy üpjün edilip bilner. Silikon wafli elektrik aýratynlyklaryny gowulandyrmak: Silikon wafli gyralaryny gaýtadan işlemek olaryň elektrik aýratynlyklaryna möhüm täsir edýär. Tegelek, syzmak tokyny azaltmak ýaly kremniý wafleriň elektrik aýratynlyklaryny gowulaşdyryp biler. Estetika: Silikon wafli gyralary tegeleklenenden soň has ýumşak we owadan bolýar, bu hem käbir amaly ssenariýalar üçin zerurdyr.
Iş wagty: Iýul-30-2024