Wafli daşaýjynyň tanyşdyrylyşy
ÖNÜMLER KATAGORI .ASY
▶PECVD we TALOX prosesi üçin wafer daşaýjy ulgam
• PECVD & TALOX Grafit gaýygy (M4 ~ M12)
• Dik SM-gaýyk (M4, M6)
• Implant we duş grafit bölegi (M4 ~ M6)
• C / C lýuboý we keramiki örtük
• Metal RIE-lýuboý we keramiki örtük
• Wakuum möhürlemesi: O-halka we SQ-halka
▶Dokma we çygly geçiş prosesi
• LSC H-Carrier ýa-da kaseta (M4 ~ M12)
• LSC V-daşaýjy ýa-da kaseta (M4 ~ M12)
• ASC daşaýjy ýa-da kaseta (M4, M6)
• W / F Daşaýjy we Saklaýyş gutusy (M4 ~ M12)
• Ulag tigirleri (rolik) seriýasy
▶Gün öýjük göterijisi we metal daşaýjy
• TRC daşaýjy ýa-da kaseta (M4 ~ M12)
• Magazineurnal (BELT bilen)
Grafiki gaýyk (H görnüşi)
19P6-216CT (WF M4 ~ M12)
Grafiki gaýyk (H görnüşi)
21P6-240CT WF M4 ~ M12)
Grafiki gaýyk (H görnüşi)
23P7-308CT (W / F M4 ~ M12)
Grafiki gaýyk (H görnüşi)
22P / 7-294TP (W / F M4 ~ M12)
Grafiki gaýyk (H görnüşi)
W182-22P7-294CT (W / F M12)
W182-21P6-240CT (W / F M12)
WF KARRIER WE SÖORGI BOX (~ M12)
C / C SY TRAHATÇY ýa-da KARRIER (M4 ~ M10)
C / C SY TRAHATÇY ýa-da KARRIER (M4 ~ M10)
WERTIKAL Gämisi (SM) M6
LSC-H-CARRIER (~ M12)
LSC-V-CARRIER (~ M12)
ASC CARRIER (~ M6)
TRC CARRIER (~ M12)
TRC CARRIER (~ M12)
Grafika-gaýyk (M12)
PECVD prosesi üçin wafer daşaýjy ulgam
▶ Grafiki gaýyk (CT-dizaýn) M10 / M12 prosesi
• ECörite dizaýn konsepsiýasy
▶ Grafiki gaýyk (CT-dizaýn) M4 / M6 prosesi
AT Gäminiň aksesuar bölekleri
ERT WERTIKAL Gämisi-161,7mm WAFER
▶ WERTIKAL Gämisi-166mm WAFER
▶ WERTIKAL Gämisi-161,7mm, 166mm WAFER
Gün öýjük göterijisi we metal TRC daşaýjy
SÖPGI: Awtomatlaşdyryş
WAFER SIZE: ① 156 × 156MM ② 156,75 × 156,75MM
③161.7x161.7MM ④166x166MM
⑤ 180 × 180mm ⑥ 210 × 210mm
Ulanylyşy: Carry (Kasseta)
MÜMKINÇILIK: 100 sahypa
PITCH: 4.76MM / 5.953mm / 6.35mm
DIMENSION: Takmynan 559 × 220 × 220MM
Takmynan 712 × 260 × 260MM
ÜSTÜNLIK: Atmosfera
MATERIAL: FLAM, TARAP BAR-Alýumin (anodizasiýa)
TARAP PLAT-POM (Antistatik)
Aşaky çyzygyň gapagy-EPDM / PU / VITON (ASE)
TRC-METAL KARRIER (U'SER LINE)
TRC-METAL KARRIER (U'SER LINE)
TRC-METAL KARRIER (U'SER LINE)
SHOWER PLATE & IMPLANT, CARRIER
