Semicera's10x10mm polýar däl M uçar Alýumin substratyösen optoelektroniki programmalaryň talaplaryna laýyk gelmek üçin işlenip düzülendir. Bu substrat, yşyklandyryjylar we lazer diodlary ýaly enjamlarda polýarizasiýa täsirini azaltmak üçin polýar däl M-tekiz ugry görkezýär, öndürijiligiň we netijeliligiň ýokarlanmagyna getirýär.
The10x10mm polýar däl M uçar Alýumin substratyIň az kemçilik dykyzlygyny we ýokary gurluş bitewiligini üpjün edýän ajaýyp kristal hili bilen ýasalýar. Bu, indiki nesil optoelektron enjamlarynyň ösmegi üçin zerur bolan ýokary hilli III-nitritli filmleriň epitaksial ösmegi üçin iň amatly saýlawy edýär.
“Semicera” -nyň takyk in engineeringenerligi, hersiniň bolmagyny üpjün edýär10x10mm polýar däl M uçar Alýumin substratybirmeňzeş film çökdürilmegi we enjam ýasamak üçin möhüm ähmiýete eýe bolan yzygiderli galyňlygy we ýerüsti tekizligi hödürleýär. Mundan başga-da, substratyň ykjam ululygy dürli gözleglerde çeýe ulanmaga mümkinçilik berýän gözleg we önümçilik gurşawy üçin amatly edýär. Ajaýyp ýylylyk we himiki durnuklylygy bilen bu substrat häzirki zaman optoelektron tehnologiýalaryny ösdürmek üçin ygtybarly esas döredýär.
| Harytlar | Önümçilik | Gözleg | Dummy |
| Kristal parametrler | |||
| Politip | 4H | ||
| Faceerüsti ugrukdyryş säwligi | <11-20> 4 ± 0,15 ° | ||
| Elektrik parametrleri | |||
| Dopant | n görnüşli azot | ||
| Çydamlylyk | 0.015-0.025ohm · sm | ||
| Mehaniki parametrler | |||
| Diametri | 150.0 ± 0,2mm | ||
| Galyňlyk | 350 ± 25 μm | ||
| Esasy tekiz ugry | [1-100] ± 5 ° | ||
| Esasy tekiz uzynlyk | 47.5 ± 1,5mm | ||
| Ikinji kwartira | Hiç | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm * 5mm) | ≤5 μm (5mm * 5mm) | ≤10 μm (5mm * 5mm) |
| Aý | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Öň (Si-face) gödeklik (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
| Gurluşy | |||
| Mikrop turbanyň dykyzlygy | <1 ea / cm2 | <10 ea / cm2 | <15 ea / cm2 |
| Metal hapalar | ≤5E10atoms / cm2 | NA | |
| BPD | 001500 ea / cm2 | 0003000 ea / cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea / cm2 | 0001000 ea / cm2 | NA |
| Öň hili | |||
| Öň tarapy | Si | ||
| Faceerüsti gutarmak | Si-ýüzli CMP | ||
| Bölejikler | ≤60ea / wafli (ölçegi≥0.3μm) | NA | |
| Dyrnaklar | ≤5ea / mm. Jemi uzynlygy ≤Diameter | Jemi uzynlygy≤2 * Diametri | NA |
| Pyrtykal gabygy / çukur / tegmiller / çişmeler / çatryklar / hapalanma | Hiç | NA | |
| Gyrasy çipler / görkezijiler / döwük / alty sany plastinka | Hiç | ||
| Polip görnüşleri | Hiç | Jemi meýdany≤20% | Jemi meýdany ≤30% |
| Öňki lazer belligi | Hiç | ||
| Yzky hil | |||
| Yzyna | C ýüzli CMP | ||
| Dyrnaklar | ≤5ea / mm, Jemi uzynlygy≤2 * Diametri | NA | |
| Yzky kemçilikler (gyrasy çipler / görkezijiler) | Hiç | ||
| Yzky gödeklik | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
| Yzky lazer belligi | 1 mm (ýokarky gyradan) | ||
| Gyrasy | |||
| Gyrasy | Çamfer | ||
| Gaplamak | |||
| Gaplamak | Wakuum gaplamak bilen epi taýýar Köp wafli kaseta gaplamasy | ||
| * Bellikler NA "NA" haýyş ýok, agzalmadyk zatlar SEMI-STD-e degişli bolup bilmez. | |||
