2 ~ 6 dýuým 4 ° burçly P görnüşli 4H-SiC substrat

Gysga düşündiriş:

‌4 ° burçdan P görnüşli 4H-SiC substraty belli bir ýarymgeçiriji materialdyr, bu ýerde “4 ° off burç” wafliň kristal ugrukdyryş burçuny 4 gradus burçdan, “P görnüşi” aňladýar. ýarymgeçirijiniň geçirijilik görnüşi. Bu material ýarymgeçiriji pudagynda, esasanam elektrik elektronikasy we ýokary ýygylykly elektronika pudagynda möhüm goşundylara eýedir.


Önümiň jikme-jigi

Haryt bellikleri

“Semicera” -yň 2 ~ 6 dýuým 4 ° burçly P görnüşli 4H-SiC substratlary ýokary öndürijilikli we RF enjam öndürijileriniň barha artýan isleglerini kanagatlandyrmak üçin işlenip düzülendir. 4 ° burçdan gönükdirilen ugry optimal epitaksial ösüşi üpjün edýär we bu substraty MOSFET, IGBT we diod ýaly ýarymgeçiriji enjamlar üçin amatly esas döredýär.

Bu 2 ~ 6 dýuým 4 ° burçly P görnüşli 4H-SiC substraty ýokary ýylylyk geçirijiligi, ajaýyp elektrik öndürijiligi we ajaýyp mehaniki durnuklylygy ýaly ajaýyp material aýratynlyklaryna eýedir. Burçdan daşgary ugrukdyrma mikrop turbanyň dykyzlygyny azaltmaga kömek edýär we soňky ýarymgeçiriji enjamyň işleýşini we ygtybarlylygyny ýokarlandyrmak üçin möhüm ähmiýete eýe bolan epitaksial gatlaklary ösdürýär.

“Semicera” -nyň 2 ~ 6 dýuým 4 ° burçly P görnüşli 4H-SiC substratlary dürli önümçilik talaplaryny kanagatlandyrmak üçin 2 dýuýmdan 6 dýuýma çenli dürli diametrlerde bar. Substratlarymyz birmeňzeş doping derejesini we ýokary hilli ýerüsti aýratynlyklaryny üpjün etmek üçin takyk işlenip düzülendir, her bir wafli ösen elektroniki programmalar üçin zerur bolan berk talaplara laýyk gelýär.

“Semicera” -nyň innowasiýa we hiline bolan ygrarlylygy, 2 ~ 6 dýuým 4 ° burçly P görnüşli 4H-SiC substratlarymyz, elektrik elektronikasyndan ýokary ýygylykly enjamlara çenli köp sanly programmada yzygiderli öndürijiligi üpjün edýär. Bu önüm, awtoulag, telekommunikasiýa we gaýtadan dikeldilýän energiýa ýaly pudaklarda tehnologiki ösüşleri goldaýan, energiýa tygşytlaýan, ýokary öndürijilikli ýarymgeçirijileriň indiki nesli üçin ygtybarly çözgüt hödürleýär.

Ölçeg bilen baglanyşykly standartlar

Ölçegi 2inç 4inç
Diametri 50,8 mm ± 0.38 mm 100.0 mm + 0 / -0.5 mm
Faceerüsti ugrukdyrma 4 ° <11-20> ± 0,5 ° tarap 4 ° <11-20> ± 0,5 ° tarap
Esasy tekizlik uzynlygy 16.0 mm ± 1.5mm 32.5mm ± 2mm
Ikinji tekizlik uzynlygy 8.0 mm ± 1.5mm 18.0 mm ± 2 mm
Esasy kwartira Parallelto <11-20> ± 5.0 ° Parallelto <11-20> ± 5.0c
Ikinji kwartira ugry Esasy ± 5.0 ° -dan 90 ° CW, kremniniň ýüzi ýokary Esasy ± 5.0 ° -dan 90 ° CW, kremniniň ýüzi ýokary
Surface Finish C-Face: Optiki Polýak, Si-Face: CMP C-Face: OpticalPolish, Si-Face: CMP
Wafer gyrasy Beveling Beveling
Faceerüsti gödeklik Si-Face Ra <0,2 nm Si-Face Ra <0.2nm
Galyňlyk 350.0 ± 25.0um 350.0 ± 25.0um
Politip 4H 4H
Doping p-görnüşi p-görnüşi

Ölçeg bilen baglanyşykly standartlar

Ölçegi 6inç
Diametri 150.0 mm + 0 / -0.2 mm
Faceerüsti ugrukdyrma 4 ° <11-20> ± 0,5 ° tarap
Esasy tekizlik uzynlygy 47.5 mm ± 1.5mm
Ikinji tekizlik uzynlygy Hiç
Esasy kwartira <11-20> ± 5.0 ° bilen parallel
SecondaryFlat ugry Esasy ± 5.0 ° -dan 90 ° CW, kremniniň ýüzi ýokary
Surface Finish C-Face: Optiki Polýak, Si-Face: CMP
Wafer gyrasy Beveling
Faceerüsti gödeklik Si-Face Ra <0,2 nm
Galyňlyk 350.0 ± 25.0μm
Politip 4H
Doping p-görnüşi

Raman

2-6 dýuým 4 ° burçly P görnüşli 4H-SiC substrat-3

Egri egri

2-6 dýuým 4 ° burçly P görnüşli 4H-SiC substrat-4

Dislokasiýa dykyzlygy (KOH etching)

2-6 dýuým 4 ° burçly P görnüşli 4H-SiC substrat-5

KOH şekilleri

2-6 dýuým 4 ° burçly P görnüşli 4H-SiC substrat-6
SiC wafli

  • Öňki:
  • Indiki: