“Semicera” -yň 6 inç ýarym izolýasiýa HPSI SiC wafli häzirki zaman ýarymgeçiriji tehnologiýasynyň berk talaplaryny kanagatlandyrmak üçin döredildi. Ajaýyp arassalygy we yzygiderliligi bilen bu wafli ýokary netijelilikli elektron böleklerini ösdürmek üçin ygtybarly esas bolup hyzmat edýär.
Bu HPSI SiC wafli ajaýyp ýylylyk geçirijiligi we elektrik izolýasiýasy bilen tanalýar, bu güýç enjamlarynyň we ýokary ýygylykly zynjyrlaryň işleýşini gowulandyrmak üçin möhüm ähmiýete eýe. Insarym izolýasiýa häsiýetleri elektrik päsgelçiligini azaltmaga we enjamyň netijeliligini ýokarlandyrmaga kömek edýär.
“Semicera” tarapyndan ulanylýan ýokary hilli önümçilik prosesi, her bir wafli birmeňzeş galyňlygy we iň az ýerüsti kemçilikleri üpjün edýär. Bu takyklyk, radio ýygylyk enjamlary, kuwwat inwerterleri we öndürijilik we çydamlylyk esasy faktorlar bolan LED ulgamlary ýaly ösen programmalar üçin zerurdyr.
Döwrebap önümçilik usullaryny ulanmak bilen, “Semicera” diňe bir önümçilik standartlaryna laýyk gelmän, eýsem önümçilik standartlaryndan ýokary bolan wafli bilen üpjün edýär. 6 dýuým ululyk ýarymgeçiriji pudagyndaky gözleglere we täjirçilik goşundylaryna hyzmat edip, önümçiligi giňeltmekde çeýeligi hödürleýär.
“Semicera” -yň 6 inç ýarym izolýasiýa HPSI SiC waferi saýlamak, yzygiderli hil we öndürijilik berýän önüme maýa goýmagy aňladýar. Bu wafli, “Semicera” -nyň innowasiýa materiallary we oýlanyşykly ussatlyk arkaly ýarymgeçiriji tehnologiýasynyň mümkinçiliklerini ösdürmek baradaky borçnamasynyň bir bölegidir.
| Harytlar | Önümçilik | Gözleg | Dummy |
| Kristal parametrler | |||
| Politip | 4H | ||
| Faceerüsti ugrukdyryş säwligi | <11-20> 4 ± 0,15 ° | ||
| Elektrik parametrleri | |||
| Dopant | n görnüşli azot | ||
| Çydamlylyk | 0.015-0.025ohm · sm | ||
| Mehaniki parametrler | |||
| Diametri | 150.0 ± 0,2mm | ||
| Galyňlyk | 350 ± 25 μm | ||
| Esasy tekiz ugry | [1-100] ± 5 ° | ||
| Esasy tekiz uzynlyk | 47.5 ± 1,5mm | ||
| Ikinji kwartira | Hiç | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm * 5mm) | ≤5 μm (5mm * 5mm) | ≤10 μm (5mm * 5mm) |
| Aý | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Öň (Si-face) gödeklik (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
| Gurluşy | |||
| Mikrop turbanyň dykyzlygy | <1 ea / cm2 | <10 ea / cm2 | <15 ea / cm2 |
| Metal hapalar | ≤5E10atoms / cm2 | NA | |
| BPD | 001500 ea / cm2 | 0003000 ea / cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea / cm2 | 0001000 ea / cm2 | NA |
| Öň hili | |||
| Öň tarapy | Si | ||
| Faceerüsti gutarmak | Si-ýüzli CMP | ||
| Bölejikler | ≤60ea / wafli (ölçegi≥0.3μm) | NA | |
| Dyrnaklar | ≤5ea / mm. Jemi uzynlygy ≤Diameter | Jemi uzynlygy≤2 * Diametri | NA |
| Pyrtykal gabygy / çukur / tegmiller / çişmeler / çatryklar / hapalanma | Hiç | NA | |
| Gyrasy çipler / görkezijiler / döwük / alty sany plastinka | Hiç | ||
| Polip görnüşleri | Hiç | Jemi meýdany≤20% | Jemi meýdany ≤30% |
| Öňki lazer belligi | Hiç | ||
| Yzky hil | |||
| Yzyna | C ýüzli CMP | ||
| Dyrnaklar | ≤5ea / mm, Jemi uzynlygy≤2 * Diametri | NA | |
| Yzky kemçilikler (gyrasy çipler / görkezijiler) | Hiç | ||
| Yzky gödeklik | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
| Yzky lazer belligi | 1 mm (ýokarky gyradan) | ||
| Gyrasy | |||
| Gyrasy | Çamfer | ||
| Gaplamak | |||
| Gaplamak | Wakuum gaplamak bilen epi taýýar Köp wafli kaseta gaplamasy | ||
| * Bellikler NA "NA" haýyş ýok, agzalmadyk zatlar SEMI-STD-e degişli bolup bilmez. | |||
