6 lnç n görnüşli sic substrat

Gysga düşündiriş:

6 dýuým n görnüşli SiC substraty, ýarym dýuým wafli ululygy bilen häsiýetlendirilýän ýarymgeçiriji material bolup, bir uly wafliň üstünde has uly ýeriň üstünde öndürilip bilinjek enjamlaryň sanyny köpeldip, enjam derejesindäki çykdajylary azaldýar. . 6 dýuýmlyk n görnüşli SiC substratlarynyň işlenip düzülmegi we ulanylmagy, RAF ösüş usuly ýaly tehnologiýalaryň ösmeginden peýdalandy, bu ýerleriň we paralel ugurlar boýunça kristallary kesip, kristallary gaýtadan dikeltmek arkaly bölünişikleri azaldýar, şeýlelik bilen substratyň hilini ýokarlandyrýar. Bu substratyň ulanylmagy önümçiligiň netijeliligini ýokarlandyrmak we SiC elektrik enjamlarynyň çykdajylaryny azaltmak üçin möhüm ähmiýete eýe.


Önümiň jikme-jigi

Haryt bellikleri

Silikon karbid (SiC) ýeke kristal materialda uly zolakly boşluk giňligi (~ Si 3 gezek), ýokary ýylylyk geçirijiligi (~ Si 3,3 gezek ýa-da GaAs 10 gezek), ýokary elektron doýgunlygyň göçüş tizligi (~ Si 2,5 esse), ýokary bölek elektrik meýdan (~ Si 10 gezek ýa-da GaAs 5 gezek) we beýleki ajaýyp aýratynlyklar.

Üçünji nesil ýarymgeçiriji materiallara esasan SiC, GaN, göwher we ş.m. girýär, sebäbi zolagyň boşlugynyň giňligi (meselem) 2,3 elektron woltdan (eV) uly ýa-da deňdir, giň zolakly boşluk ýarymgeçiriji materiallar hem diýilýär. Birinji we ikinji nesil ýarymgeçiriji materiallar bilen deňeşdirilende, üçünji nesil ýarymgeçiriji materiallar ýokary ýylylyk geçirijiliginiň, ýokary döwülýän elektrik meýdanynyň, ýokary doýgun elektron göçüş tizliginiň we ýokary baglanyşyk energiýasynyň artykmaçlyklaryna eýedir, bu bolsa häzirki zaman elektron tehnologiýasynyň täze talaplaryna laýyk bolup biler temperatura, ýokary güýç, ýokary basyş, ýokary ýygylyk we radiasiýa garşylygy we beýleki agyr şertler. Milli goranmak, awiasiýa, aerokosmos, nebit gözlemek, optiki ammar we ş.m. ýaly ugurlarda möhüm amaly perspektiwalara eýedir we giň zolakly aragatnaşyk, gün energiýasy, awtoulag önümçiligi ýaly köp strategiki pudaklarda energiýa ýitgisini 50% -den gowrak azaldyp biler, ýarymgeçiriji yşyklandyryş we akylly set, we enjamlaryň göwrümini 75% -den gowrak azaldyp biler, bu adamzat ylmynyň we tehnologiýasynyň ösmegi üçin möhüm ähmiýete eýe.

“Semicera” energiýasy müşderilere ýokary hilli geçiriji (geçiriji), ýarym izolýasiýa (ýarym izolýasiýa), HPSI (ýokary arassa ýarym izolýasiýa) kremniy karbid substraty bilen üpjün edip biler; Mundan başga-da, müşderilere birmeňzeş we birmeňzeş kremniy karbid epitaksial listleri berip bileris; Şeýle hem, epitaksial sahypany müşderileriň aýratyn zerurlyklaryna görä düzüp bileris, iň az sargyt mukdary ýok.

Esasy önüm aýratynlyklary

Ölçegi 6 dýuým
Diametri 150.0mm + 0mm / -0.2mm
Faceerüsti ugrukdyrma okdan daşda: 4 ° <1120> ± 0,5 °
Esasy tekizlik uzynlygy 47.5mm1.5 mm
Esasy kwartira <1120> ± 1.0 °
Ikinji kwartira Hiç
Galyňlyk 350.0um ± 25.0um
Politip 4H
Geçiriji görnüş n görnüşi

GYSGAÇA SYITYASAT aýratynlyklary

6 dýuým
Haryt P-MOS synp P-SBD derejesi
Çydamlylyk 0.015Ω · cm-0.025Ω · sm
Politip Hiç kim rugsat bermedi
Mikrop turbanyň dykyzlygy ≤0.2 / cm2 ≤0.5 / cm2
EPD 0004000 / cm2 ≤8000 / cm2
TED 0003000 / cm2 ≤6000 / cm2
BPD 0001000 / cm2 ≤2000 / cm2
TSD ≤300 / cm2 0001000 / cm2
SF (UV-PL-355nm bilen ölçelýär) ≤0.5% meýdany ≤1% meýdany
Hexokary intensiwlik bilen alty plastinka Hiç kim rugsat bermedi
Intensokary intensiwlikli ýagtylyk bilen wizual uglerod Cumulativearea≤0.05%
微 信 截图 _20240822105943

Çydamlylyk

Politip

6 lnch n görnüşli sic substrat (3)
6 lnch n görnüşli sic substrat (4)

BPD & TSD

6 lnch n görnüşli sic substrat (5)
SiC wafli

  • Öňki:
  • Indiki: