Çip döretmek bilen baglanyşykly ähli amallardan iň soňky ykbalywafliaýry-aýry ölülere bölünip, kiçijik, ýapyk gutulara gaplanmaly. Çipiň bosagasy, garşylygy, tok we naprýa .eniýe bahalaryna görä baha berler, ýöne daşky görnüşine hiç kim üns bermez. Önümçilik döwründe, esasanam her fotolitografiýa ädimi üçin zerur meýilnamalaşdyrmak üçin wafli birnäçe gezek süpürýäris. Thewafliüstü gaty tekiz bolmaly, sebäbi çip öndürmek prosesi kiçelip barýarka, fotolitografiýa maşynynyň obýekti obýektiwiň san dykyzlygyny (NA) köpeltmek arkaly nanometr ölçegli çözgüdi gazanmaly. Şeýle-de bolsa, bu bir wagtyň özünde fokusyň çuňlugyny peseldýär (DoF). Fokusyň çuňlugy, optiki ulgamyň ünsi saklap bilýän çuňlugyna degişlidir. Fotolitografiýa şekiliniň düşnükli we üns merkezinde bolmagyny üpjün etmek üçin, ýerüsti üýtgeýişleriwafliünsi çuňlugyna düşmeli.
Simpleönekeý sözler bilen aýdylanda, fotolitografiýa enjamy şekillendiriş takyklygyny ýokarlandyrmak ukybyny pida edýär. Mysal üçin, täze nesil EUV fotolitografiýa maşynlarynyň san dykyzlygy 0,55, ýöne dikligiň çuňlugy bary-ýogy 45 nanometr, fotolitografiýa döwründe has kiçi optimal şekillendiriş diapazony bar. Egerwaflitekiz däl, galyňlygy deň däl ýa-da ýerüsti düzgünleri ýok, ýokary we pes nokatlarda fotolitografiýa wagtynda problema döreder.
Fotolitografiýa tekizligi talap edýän ýeke-täk proses dälwafliüstü. Çip öndürmek prosesleriniň köpüsi wafli ýuwmagy talap edýär. Mysal üçin, çygly çişirilenden soň, örtük we çökdürmek üçin gödek ýüzüni tekizlemek üçin polat gerek. Çuňňur çukur izolýasiýasyndan (STI) artykmaç kremniniň dioksidini tekizlemek we çukury doldurmagy tamamlamak üçin polat gerek. Metal çökdürilenden soň, artykmaç metal gatlaklary aýyrmak we enjamyň gysga zynjyrlarynyň öňüni almak üçin polat gerek.
Şonuň üçin çipiň döremegi, wafliniň çişligini we ýerüsti üýtgemelerini azaltmak we artykmaç materiallary ýerden aýyrmak üçin köp sanly ädimleri öz içine alýar. Mundan başga-da, wafldäki dürli proses problemalary sebäpli ýüze çykýan ýerüsti kemçilikler köplenç diňe her ýalpyldawuk ädimden soň ýüze çykýar. Şeýlelik bilen, ýalpyldawuk jogapkär inersenerler möhüm jogapkärçiligi çekýärler. Çip öndürmek prosesinde esasy şahsyýetler we önümçilik ýygnaklarynda köplenç günäkär. Çip öndürmekde esasy ýalpyldawuk usul hökmünde çygly arassalama we fiziki önümçilige ökde bolmaly.
Wafli ýuwmak usullary haýsylar?
Ishinguwmak prosesi, ýalpyldawuk suwuklyk bilen kremniniň wafli üstündäki özara täsir ýörelgelerine esaslanyp üç esasy kategoriýa bölünip bilner:
1. Mehaniki polishing usuly:
Mehaniki ýalpyldawuk, tekiz ýüzüne ýetmek üçin kesilen we plastmassa deformasiýa arkaly ýalpyldawuk üstüň çykmagyny aýyrýar. Adaty gurallar, esasan, el bilen dolandyrylýan ýag daşlaryny, ýüň tigirleri we çäge kagyzlaryny öz içine alýar. Aýlanýan jisimleriň ýüzleri ýaly ýörite bölekler aýlanýan stollary we beýleki kömekçi gurallary ulanyp biler. Qualityokary hilli talaplar bolan ýüzler üçin gaty inçe polishing usullary ulanylyp bilner. Örän nepis polishing ýörite öndürilen abraziw gurallary ulanýar, abraziw saklaýjy suwuklandyryjy suwuklykda, iş böleginiň üstüne berk gysylýar we ýokary tizlikde aýlanýar. Bu usul, ähli ýalpyldawuk usullaryň arasynda iň ýokary bolan Ra0.008μm üstki çişlige ýetip biler. Bu usul köplenç optiki obýektiw galyplary üçin ulanylýar.
2. Himiki polat usuly:
Himiki ýalpyldawuklyk, himiki gurşawda material üstündäki mikro protruslaryň artykmaç eremegini öz içine alýar, netijede tekiz bir ýer bolýar. Bu usulyň esasy artykmaçlyklary, çylşyrymly enjamlara zerurlygyň ýoklugy, çylşyrymly şekilli eserleri süpürmek ukyby we köp iş eserlerini ýokary netijelilik bilen bir wagtda ýuwmak ukybydyr. Himiki ýalpyldawuklygyň esasy meselesi, ýalpyldawuk suwuklygyň emele gelmegidir. Himiki polishing arkaly gazanylýan ýerüsti çişlik, adatça birnäçe onlarça mikrometrdir.
3. Himiki mehaniki polishing (CMP) usuly:
Ilkinji iki ýalpyldawuk usulyň hersiniň özboluşly artykmaçlyklary bar. Bu iki usuly birleşdirmek, amalda goşmaça täsirleri gazanyp biler. Himiki mehaniki ýalpyldawuk mehaniki sürtülme we himiki poslama prosesleri birleşdirýär. CMP döwründe, ýalpyldawuk suwukdaky himiki reagentler ýalpyldawuk substrat materialyny okislenýär we ýumşak oksid gatlagyny emele getirýär. Soňra bu oksid gatlagy mehaniki sürtülme arkaly aýrylýar. Bu okislenme we mehaniki aýyrmak prosesi gaýtalansa, täsirli ýalpyldawuk bolýar.
Himiki mehaniki polishingdäki häzirki kynçylyklar we meseleler: CMP:
CMP tehnologiýa, ykdysadyýet we daşky gurşawyň durnuklylygy ýaly birnäçe kynçylyklar we meseleler bilen ýüzbe-ýüz bolýar:
1) Amalyň yzygiderliligi: CMP prosesinde ýokary yzygiderliligi gazanmak kyn bolmagynda galýar. Hatda şol bir önümçilik liniýasynda-da dürli partiýalaryň ýa-da enjamlaryň arasyndaky proses parametrleriniň ujypsyz üýtgemeleri soňky önümiň yzygiderliligine täsir edip biler.
2) Täze materiallara uýgunlaşma: Täze materiallaryň peýda bolmagy bilen, CMP tehnologiýasy olaryň aýratynlyklaryna uýgunlaşmalydyr. Käbir ösen materiallar, has uýgunlaşdyrylan ýalpyldawuk suwuklyklaryň we abraziw önümleriniň ösmegini talap edýän adaty CMP amallary bilen gabat gelmezligi mümkin.
3) Ölçeg effektleri: icarymgeçiriji enjamyň ölçegleri kiçelip barýarka, ululyk effektleri sebäpli ýüze çykýan meseleler has möhüm bolýar. Kiçijik ölçegler has takyk CMP amallaryny talap edip, has ýokary tekizligi talap edýär.
4) Materiallary aýyrmagyň derejesine gözegçilik: Käbir programmalarda dürli materiallar üçin materialy aýyrmagyň derejesine takyk gözegçilik etmek möhümdir. CMP döwründe dürli gatlaklarda yzygiderli aýyrmagyň derejesini üpjün etmek ýokary öndürijilikli enjamlary öndürmek üçin zerurdyr.
5) Daşky gurşawa dostluk: CMP-de ulanylýan ýalpyldawuk suwuklyklar we abraziwler ekologiýa taýdan zyýanly komponentleri öz içine alyp biler. Has ekologiýa taýdan arassa we durnukly CMP proseslerini we materiallaryny gözlemek we ösdürmek möhüm kynçylyklardyr.
6) Zehin we awtomatlaşdyryş: CMP ulgamlarynyň akyl we awtomatlaşdyryş derejesi kem-kemden gowulaşýarka, çylşyrymly we üýtgeýän önümçilik gurşawyna garşy durmaly. Önümçiligiň netijeliligini ýokarlandyrmak üçin has ýokary derejeli awtomatlaşdyrma we akylly gözegçilige ýetmek çözülmeli mesele.
7) Çykdajylara gözegçilik: CMP ýokary enjamlary we maddy çykdajylary öz içine alýar. Öndürijiler, bazaryň bäsdeşlige ukyplylygyny saklamak üçin önümçilik çykdajylaryny azaltmaga çalyşýan mahaly, işiň netijeliligini ýokarlandyrmalydyrlar.
Iş wagty: Iýun-05-2024