Float Zone Wafer, ýüzýän Zonany eretmek usuly bilen ösdürilýär (Float Zone eritmek usuly), zonanyň ereýän wafli, FZ wafli hem ýokary arassa kremniý wafli, kremniý wafli CZ ýeke kristal göni çyzylan prosesi çalşyp biler.CZ usuly bilen öndürilen wafli bilen deňeşdirilende, zonalaşdyrylan wafli möhüm, pes önümçilik ýüki we ereýän nokadyň çäklendirilmegi ýaly köp artykmaçlyga eýedir, olary gün modullary, RF enjamlary we takyk güýç enjamlary ýaly programmalar üçin amatly edýär.FZ waflerindäki kislorod we uglerod hapalarynyň konsentrasiýasy pes we mehaniki kuwwatyny ýokarlandyrmak üçin azot ýörite goşulýar.
Haryt | Argument | Mysal üçin gözleg |
Mukdary: |
| 100 sany |
Ösüş usuly: | Gämi zolagy | FZ |
Diametri: | 50/75/100/150/200/300mm | 100mm |
Görnüşi / Dopant: | P-görnüşi / N-görnüşi / içerki görnüşi | N görnüşi |
Ugry: | <1-0-0> / <1-1-0> / <1-1-1>或 其它 | <100> |
Garşylyk: | 100 ~ 30,000 ohm-sm | 3000 ohm-sm |
Galyňlygy: | 275 um ~ 775 um | 500um |
Jemleýji: | SSP / DSP | DSP |
Kwartira: | Notch / Iki SEMI standart kwartira | Notch |
BOW / WARP: | <10 µm | <40um |
TTV: | <5 µm | <20um |
Baha: | Prime / Test / Dummy | Premýer-ministr |