Silikon wafli termiki oksid gatlagy, ýokary temperatura şertlerinde oksidleýji serişde bilen kremniniň wafliniň ýalaňaç ýüzünde emele gelen oksid gatlagy ýa-da kremniniň gatlagydyr.Silikon wafli termiki oksid gatlagy adatça kesel turba peçinde ösdürilip ýetişdirilýär we ösüş temperatura diapazony adatça 900 ° C ~ 1200 ° C bolýar we "çygly okislenme" we "gury okislenme" iki ösüş usuly bar.Malylylyk oksidi gatlagy birmeňzeşligi we CVD goýlan oksid gatlagyndan has ýokary dielektrik güýji bolan "ösen" oksid gatlagydyr.Malylylyk oksidi gatlagy izolýator hökmünde ajaýyp dielektrik gatlagydyr.Silikon esasly enjamlaryň köpüsinde termiki oksid gatlagy doping bloklaýjy gatlak we ýerüsti dielektrik hökmünde möhüm rol oýnaýar.
Maslahat: Okislenme görnüşi
1. Gury okislenme
Silikon kislorod bilen reaksiýa berýär we oksid gatlagy bazal gatlaga tarap hereket edýär.Gury okislenme 850 - 1200 ° C temperaturada amala aşyrylmalydyr we MOS izolýasiýa derwezesiniň ösmegi üçin ulanyp boljak ösüş depgini pesdir.Haçan-da ýokary hilli, aşa inçe kremniý oksid gatlagy zerur bolsa, çygly okislenmeden gury okislenme ileri tutulýar.
Gury okislenme kuwwaty: 15nm ~ 300nm (150A ~ 3000A)
2. Çygly okislenme
Bu usul ~ 1000 ° C-de ýakmak üçin wodorod bilen ýokary arassa kislorodyň garyndysyny ulanýar, şeýlelik bilen oksid gatlagyny emele getirýän suw buglaryny öndürýär.Çygly okislenme gury okislenme ýaly ýokary hilli okislenme gatlagyny öndürip bilmese-de, izolýasiýa zonasy hökmünde ulanylmaga ýeterlik bolsa-da, gury okislenme bilen deňeşdirilende has ýokary ösüş depgini bar.
Çygly okislenme kuwwaty: 50nm ~ 15µm (500A ~ 15µm)
3. Gury usul - çygly usul - gury usul
Bu usulda başlangyç döwürde okislenme peçine arassa gury kislorod goýberilýär, okislenmäniň ortasyna wodorod goşulýar we has dykyz okislenme gurluşyny emele getirmek üçin arassa gury kislorod bilen okislenmegi dowam etdirmek üçin wodorod saklanýar. suw bugy görnüşinde umumy çygly okislenme prosesi.
4. TEOS okislenmesi
| Okislenme usuly | Çygly okislenme ýa-da gury okislenme |
| Diametri | 2 ″ / 3 ″ / 4 ″ / 6 ″ / 8 ″ / 12 ″ |
| Oksidiň galyňlygy | 100 Å ~ 15µm |
| Çydamlylyk | +/- 5% |
| Faceüzü | Sideeke-täk okislenme (SSO) / Iki taraplaýyn okislenme (DSO) |
| Ojak | Gorizontal turba peji |
| Gaz | Wodorod we kislorod gazy |
| Temperatura | 900 ℃ ~ 1200 ℃ |
| Döwülme görkezijisi | 1.456 |
