PFA kasetasy

Gysga düşündiriş:

PFA kasetasy- icarymgeçiriji önümçiliginde ygtybarly we netijeli wafli işlemek üçin iň oňat çözgüt bolan “Semicera” -nyň PFA kasetasy bilen deňi-taýy bolmadyk himiki garşylygy we çydamlylygy başdan geçiriň.


Önümiň jikme-jigi

Haryt bellikleri

Icarymhödürlemekden hoşalPFA kasetasy, himiki garşylyk we çydamlylyk birinji orunda durýan ýerlerde wafli işlemek üçin premium saýlama. Highokary arassalykly “Perfluoroalkoxy” (PFA) materialyndan ýasalan bu kaseta, ýarymgeçirijiniň önümçiliginde iň wajyp şertlere garşy durmak üçin, wafliňiziň howpsuzlygyny we bitewiligini üpjün etmek üçin niýetlenendir.

Deňi-taýy bolmadyk himiki garşylykThePFA kasetasyhimiki maddalaryň köpüsine ýokary garşylyk görkezmek üçin işlenip, agressiw kislotalary, erginleri we beýleki agyr himiki maddalary öz içine alýan amallar üçin iň oňat saýlama bolýar. Bu berk himiki garşylyk, iň poslaýjy şertlerde-de kasetanyň üýtgewsiz we işlemegini üpjün edýär, şeýlelik bilen ömrüni uzaldýar we ýygy-ýygydan çalyşmagyň zerurlygyny azaldýar.

Pokary arassa gurluşykSemicera'sPFA kasetasywafli gaýtadan işlemek wagtynda hapalanmagyň öňüni almakda möhüm ähmiýete eýe bolan ultra arassa PFA materialyndan öndürilýär. Bu ýokary arassa gurluşyk, bölejikleriň emele gelmek we himiki syzmak howpuny azaldýar, wafliňiziň hiline zyýan berip biljek hapalardan goralmagyny üpjün edýär.

Giňeldilen çydamlylyk we öndürijilikÇydamlylygy üçin niýetlenen ,.PFA kasetasyaşa temperaturada we berk gaýtadan işlemek şertlerinde gurluş bitewiligini saklaýar. Highokary temperatura sezewar edilse-de ýa-da gaýtadan işlenilse-de, bu kaseta görnüşini we öndürijiligini saklaýar, önümçilik şertlerinde uzak möhletli ygtybarlylygy hödürleýär.

Howpsuz işlemek üçin takyk in EngineeringenerçilikTheSemicera PFA kasetasywafli howpsuz we durnukly işlemegi üpjün edýän takyk in engineeringenerçilik aýratynlyklary. Her bir ýeri wafli ygtybarly ýerde saklamak, zeper ýetmegine sebäp bolup biljek hereketiň ýa-da üýtgemegiň öňüni almak üçin seresaplylyk bilen düzülendir. Bu takyk in engineeringenerçilik, umumy prosesiň netijeliligine goşant goşup, yzygiderli we takyk wafli ýerleşdirmegi goldaýar.

Prosessler boýunça köpugurly programmaIň ýokary maddy aýratynlyklary sebäpliPFA kasetasyýarymgeçiriji ýasamagyň dürli etaplarynda ulanmak üçin ýeterlik derejede köptaraplydyr. Esasanam çygly dökülmeler, himiki buglaryň çökmegi (CVD) we agyr himiki gurşawy öz içine alýan beýleki amallar üçin amatlydyr. Uýgunlaşmagy ony prosesiň bitewiligini we wafli hilini saklamakda möhüm gural edýär.

Hil we innowasiýa borçnamasy“Semicera” -da, iň ýokary pudak standartlaryna laýyk gelýän önümleri hödürlemegi maksat edinýäris. ThePFA kasetasyönümçilik amallaryňyza yzygiderli birleşdirýän ygtybarly çözgüt hödürläp, bu ygrarlylygy görkezýär. Her kasetada, Semicera-dan garaşýan ýokary derejäňizi üpjün edip, berk öndürijilik ölçeglerimize laýyk gelmegini üpjün etmek üçin berk hil gözegçilik edilýär.

Harytlar

Önümçilik

Gözleg

Dummy

Kristal parametrler

Politip

4H

Faceerüsti ugrukdyryş säwligi

<11-20> 4 ± 0,15 °

Elektrik parametrleri

Dopant

n görnüşli azot

Çydamlylyk

0.015-0.025ohm · sm

Mehaniki parametrler

Diametri

150.0 ± 0,2mm

Galyňlyk

350 ± 25 μm

Esasy tekiz ugry

[1-100] ± 5 °

Esasy tekiz uzynlyk

47.5 ± 1,5mm

Ikinji kwartira

Hiç

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5mm * 5mm)

≤5 μm (5mm * 5mm)

≤10 μm (5mm * 5mm)

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Warp

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Öň (Si-face) gödeklik (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm * 5μm)

Gurluşy

Mikrop turbanyň dykyzlygy

<1 ea / cm2

<10 ea / cm2

<15 ea / cm2

Metal hapalar

≤5E10atoms / cm2

NA

BPD

001500 ea / cm2

0003000 ea / cm2

NA

TSD

≤500 ea / cm2

0001000 ea / cm2

NA

Öň hili

Öň tarapy

Si

Faceerüsti gutarmak

Si-ýüzli CMP

Bölejikler

≤60ea / wafli (ölçegi≥0.3μm)

NA

Dyrnaklar

≤5ea / mm. Jemi uzynlygy ≤Diameter

Jemi uzynlygy≤2 * Diametri

NA

Pyrtykal gabygy / çukur / tegmiller / çişmeler / çatryklar / hapalanma

Hiç

NA

Gyrasy çipler / görkezijiler / döwük / alty sany plastinka

Hiç

Polip görnüşleri

Hiç

Jemi meýdany≤20%

Jemi meýdany ≤30%

Öňki lazer belligi

Hiç

Yzky hil

Yzyna

C ýüzli CMP

Dyrnaklar

≤5ea / mm, Jemi uzynlygy≤2 * Diametri

NA

Yzky kemçilikler (gyrasy çipler / görkezijiler)

Hiç

Yzky gödeklik

Ra≤0.2nm (5μm * 5μm)

Yzky lazer belligi

1 mm (ýokarky gyradan)

Gyrasy

Gyrasy

Çamfer

Gaplamak

Gaplamak

Wakuum gaplamak bilen epi taýýar

Köp wafli kaseta gaplamasy

* Bellikler NA "NA" haýyş ýok, agzalmadyk zatlar SEMI-STD-e degişli bolup bilmez.

tech_1_2_size
SiC wafli

  • Öňki:
  • Indiki: