Icarymhödürlemekden hoşalPFA kasetasy, himiki garşylyk we çydamlylyk birinji orunda durýan ýerlerde wafli işlemek üçin premium saýlama. Highokary arassalykly “Perfluoroalkoxy” (PFA) materialyndan ýasalan bu kaseta, ýarymgeçirijiniň önümçiliginde iň wajyp şertlere garşy durmak üçin, wafliňiziň howpsuzlygyny we bitewiligini üpjün etmek üçin niýetlenendir.
Deňi-taýy bolmadyk himiki garşylykThePFA kasetasyhimiki maddalaryň köpüsine ýokary garşylyk görkezmek üçin işlenip, agressiw kislotalary, erginleri we beýleki agyr himiki maddalary öz içine alýan amallar üçin iň oňat saýlama bolýar. Bu berk himiki garşylyk, iň poslaýjy şertlerde-de kasetanyň üýtgewsiz we işlemegini üpjün edýär, şeýlelik bilen ömrüni uzaldýar we ýygy-ýygydan çalyşmagyň zerurlygyny azaldýar.
Pokary arassa gurluşykSemicera'sPFA kasetasywafli gaýtadan işlemek wagtynda hapalanmagyň öňüni almakda möhüm ähmiýete eýe bolan ultra arassa PFA materialyndan öndürilýär. Bu ýokary arassa gurluşyk, bölejikleriň emele gelmek we himiki syzmak howpuny azaldýar, wafliňiziň hiline zyýan berip biljek hapalardan goralmagyny üpjün edýär.
Giňeldilen çydamlylyk we öndürijilikÇydamlylygy üçin niýetlenen ,.PFA kasetasyaşa temperaturada we berk gaýtadan işlemek şertlerinde gurluş bitewiligini saklaýar. Highokary temperatura sezewar edilse-de ýa-da gaýtadan işlenilse-de, bu kaseta görnüşini we öndürijiligini saklaýar, önümçilik şertlerinde uzak möhletli ygtybarlylygy hödürleýär.
Howpsuz işlemek üçin takyk in EngineeringenerçilikTheSemicera PFA kasetasywafli howpsuz we durnukly işlemegi üpjün edýän takyk in engineeringenerçilik aýratynlyklary. Her bir ýeri wafli ygtybarly ýerde saklamak, zeper ýetmegine sebäp bolup biljek hereketiň ýa-da üýtgemegiň öňüni almak üçin seresaplylyk bilen düzülendir. Bu takyk in engineeringenerçilik, umumy prosesiň netijeliligine goşant goşup, yzygiderli we takyk wafli ýerleşdirmegi goldaýar.
Prosessler boýunça köpugurly programmaIň ýokary maddy aýratynlyklary sebäpliPFA kasetasyýarymgeçiriji ýasamagyň dürli etaplarynda ulanmak üçin ýeterlik derejede köptaraplydyr. Esasanam çygly dökülmeler, himiki buglaryň çökmegi (CVD) we agyr himiki gurşawy öz içine alýan beýleki amallar üçin amatlydyr. Uýgunlaşmagy ony prosesiň bitewiligini we wafli hilini saklamakda möhüm gural edýär.
Hil we innowasiýa borçnamasy“Semicera” -da, iň ýokary pudak standartlaryna laýyk gelýän önümleri hödürlemegi maksat edinýäris. ThePFA kasetasyönümçilik amallaryňyza yzygiderli birleşdirýän ygtybarly çözgüt hödürläp, bu ygrarlylygy görkezýär. Her kasetada, Semicera-dan garaşýan ýokary derejäňizi üpjün edip, berk öndürijilik ölçeglerimize laýyk gelmegini üpjün etmek üçin berk hil gözegçilik edilýär.
Harytlar | Önümçilik | Gözleg | Dummy |
Kristal parametrler | |||
Politip | 4H | ||
Faceerüsti ugrukdyryş säwligi | <11-20> 4 ± 0,15 ° | ||
Elektrik parametrleri | |||
Dopant | n görnüşli azot | ||
Çydamlylyk | 0.015-0.025ohm · sm | ||
Mehaniki parametrler | |||
Diametri | 150.0 ± 0,2mm | ||
Galyňlyk | 350 ± 25 μm | ||
Esasy tekiz ugry | [1-100] ± 5 ° | ||
Esasy tekiz uzynlyk | 47.5 ± 1,5mm | ||
Ikinji kwartira | Hiç | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm (5mm * 5mm) | ≤5 μm (5mm * 5mm) | ≤10 μm (5mm * 5mm) |
Aý | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Öň (Si-face) gödeklik (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
Gurluşy | |||
Mikrop turbanyň dykyzlygy | <1 ea / cm2 | <10 ea / cm2 | <15 ea / cm2 |
Metal hapalar | ≤5E10atoms / cm2 | NA | |
BPD | 001500 ea / cm2 | 0003000 ea / cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea / cm2 | 0001000 ea / cm2 | NA |
Öň hili | |||
Öň tarapy | Si | ||
Faceerüsti gutarmak | Si-ýüzli CMP | ||
Bölejikler | ≤60ea / wafli (ölçegi≥0.3μm) | NA | |
Dyrnaklar | ≤5ea / mm. Jemi uzynlygy ≤Diameter | Jemi uzynlygy≤2 * Diametri | NA |
Pyrtykal gabygy / çukur / tegmiller / çişmeler / çatryklar / hapalanma | Hiç | NA | |
Gyrasy çipler / görkezijiler / döwük / alty sany plastinka | Hiç | ||
Polip görnüşleri | Hiç | Jemi meýdany≤20% | Jemi meýdany ≤30% |
Öňki lazer belligi | Hiç | ||
Yzky hil | |||
Yzyna | C ýüzli CMP | ||
Dyrnaklar | ≤5ea / mm, Jemi uzynlygy≤2 * Diametri | NA | |
Yzky kemçilikler (gyrasy çipler / görkezijiler) | Hiç | ||
Yzky gödeklik | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
Yzky lazer belligi | 1 mm (ýokarky gyradan) | ||
Gyrasy | |||
Gyrasy | Çamfer | ||
Gaplamak | |||
Gaplamak | Wakuum gaplamak bilen epi taýýar Köp wafli kaseta gaplamasy | ||
* Bellikler NA "NA" haýyş ýok, agzalmadyk zatlar SEMI-STD-e degişli bolup bilmez. |