Icarymbilen tanyşdyrýarOndarymgeçiriji kasetasy, ýarymgeçiriji önümçilik prosesinde wafli ygtybarly we netijeli işlemek üçin möhüm gural. Highokary takyklyk bilen işlenip düzülen bu kasseta, wafliňiziň howpsuz saklanmagyny we daşalmagyny üpjün edýär, her etapda bitewiligini saklaýar.
Iň ýokary gorag we çydamlylykTheOndarymgeçiriji kasetasy“Semicera” -dan, wafliňize iň ýokary gorag bermek üçin guruldy. Ygtybarly, hapalanmaga çydamly materiallardan gurlan, wafliňizi potensial zeperlerden we hapalanmakdan goraýar we arassaçylyk gurşawy üçin iň amatly saýlama edýär. Kassetanyň dizaýny bölejikleriň emele gelmegini azaldýar we işlemek we daşamak wagtynda wafli degilmez we ygtybarly bolmagyny üpjün edýär.
Iň amatly öndürijilik üçin ösen dizaýnSemicera'sOndarymgeçiriji kasetasytakyk wafli deňleşdirmegi üpjün edýän, gabat gelmezlik we mehaniki zeper ýetmek howpuny azaldýan oýlanyşykly dizaýn aýratynlygy. Kassetanyň ýerleri her bir wafli ygtybarly saklamak üçin ajaýyp aralykda ýerleşýär, çyzylmagyna ýa-da beýleki kemçiliklere sebäp bolup biljek hereketiň öňüni alýar.
Köpdürlüligi we laýyklygyTheOndarymgeçiriji kasetasyköptaraply we dürli wafli ululyklary bilen utgaşyp, ýarymgeçirijiniň dürli tapgyrlary üçin amatly bolýar. Adaty ýa-da adaty wafli ölçegleri bilen işleýärsiňizmi, bu kaseta önümçilik prosesleriňizde çeýeligi hödürläp, zerurlyklaryňyza laýyk gelýär.
Düzgünli işlemek we netijelilikUlanyjyny göz öňünde tutup döredilenIcarymgeçiriji ýarym kassetaçalt we täsirli ýüklemäge we düşürmäge mümkinçilik berýän ýeňil we işlemek aňsat. Bu ergonomiki dizaýn diňe bir wagty tygşytlamak bilen çäklenmän, desganyňyzyň içinde işlemegini üpjün edip, adam ýalňyşlygy töwekgelçiligini hem azaldar.
Senagat standartlaryna laýyk gelmek“Semicera”Ondarymgeçiriji kasetasyhil we ygtybarlylyk üçin iň ýokary pudak standartlaryna laýyk gelýär. Her kasseta ýarymgeçiriji önümçiliginiň talap edilýän şertlerinde yzygiderli ýerine ýetirilmegini kepillendirmek üçin berk synagdan geçýär. Hiliň bu yhlasy, wafleriňiziň hemişe goralmagyny, pudakda talap edilýän ýokary standartlary saklamagyny üpjün edýär.
| Harytlar | Önümçilik | Gözleg | Dummy |
| Kristal parametrler | |||
| Politip | 4H | ||
| Faceerüsti ugrukdyryş säwligi | <11-20> 4 ± 0,15 ° | ||
| Elektrik parametrleri | |||
| Dopant | n görnüşli azot | ||
| Çydamlylyk | 0.015-0.025ohm · sm | ||
| Mehaniki parametrler | |||
| Diametri | 150.0 ± 0,2mm | ||
| Galyňlyk | 350 ± 25 μm | ||
| Esasy tekiz ugry | [1-100] ± 5 ° | ||
| Esasy tekiz uzynlyk | 47.5 ± 1,5mm | ||
| Ikinji kwartira | Hiç | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm * 5mm) | ≤5 μm (5mm * 5mm) | ≤10 μm (5mm * 5mm) |
| Aý | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Öň (Si-face) gödeklik (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
| Gurluşy | |||
| Mikrop turbanyň dykyzlygy | <1 ea / cm2 | <10 ea / cm2 | <15 ea / cm2 |
| Metal hapalar | ≤5E10atoms / cm2 | NA | |
| BPD | 001500 ea / cm2 | 0003000 ea / cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea / cm2 | 0001000 ea / cm2 | NA |
| Öň hili | |||
| Öň tarapy | Si | ||
| Faceerüsti gutarmak | Si-ýüzli CMP | ||
| Bölejikler | ≤60ea / wafli (ölçegi≥0.3μm) | NA | |
| Dyrnaklar | ≤5ea / mm. Jemi uzynlygy ≤Diameter | Jemi uzynlygy≤2 * Diametri | NA |
| Pyrtykal gabygy / çukur / tegmiller / çişmeler / çatryklar / hapalanma | Hiç | NA | |
| Gyrasy çipler / görkezijiler / döwük / alty sany plastinka | Hiç | ||
| Polip görnüşleri | Hiç | Jemi meýdany≤20% | Jemi meýdany ≤30% |
| Öňki lazer belligi | Hiç | ||
| Yzky hil | |||
| Yzyna | C ýüzli CMP | ||
| Dyrnaklar | ≤5ea / mm, Jemi uzynlygy≤2 * Diametri | NA | |
| Yzky kemçilikler (gyrasy çipler / görkezijiler) | Hiç | ||
| Yzky gödeklik | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
| Yzky lazer belligi | 1 mm (ýokarky gyradan) | ||
| Gyrasy | |||
| Gyrasy | Çamfer | ||
| Gaplamak | |||
| Gaplamak | Wakuum gaplamak bilen epi taýýar Köp wafli kaseta gaplamasy | ||
| * Bellikler NA "NA" haýyş ýok, agzalmadyk zatlar SEMI-STD-e degişli bolup bilmez. | |||
