CVD TaC örtügi bilen tanyşlyk:
CVD TaC örtügi, tantal karbid (TaC) örtügini substratyň üstünde goýmak üçin himiki bug çökdürmesini ulanýan tehnologiýa. Tantal karbidi ajaýyp mehaniki we himiki aýratynlyklary bolan ýokary öndürijilikli keramiki materialdyr. CVD prosesi, gaz reaksiýasy arkaly substratyň üstünde birmeňzeş TaC film döredýär.
Esasy aýratynlyklary:
Ajaýyp gatylyk we geýmäge garşylyk: Tantal karbidiniň gaty gatylygy bar we CVD TaC örtügi substratyň könelmegine ep-esli gowulaşyp biler. Bu örtük, kesiş gurallary we galyplar ýaly ýokary eşikli şertlerde amaly üçin amatly edýär.
Temokary temperatura durnuklylygy: TaC örtükleri, möhüm durnuklylygy görkezip, 2200 ° C çenli temperaturada möhüm peçleri we reaktor böleklerini goraýar. Örän ýokary temperatura şertlerinde himiki we mehaniki durnuklylygy saklaýar, ýokary temperaturaly işlemek we ýokary temperaturaly şertlerde ulanmak üçin amatly edýär.
Ajaýyp himiki durnuklylyk: Tantal karbid kislotalaryň we aşgarlaryň köpüsine güýçli poslama garşylygy bar we CVD TaC örtügi poslaýjy şertlerde substratyň zaýalanmagynyň öňüni alyp biler.
Eriş nokady: Tantal karbidiniň ýokary ereýän nokady bar (takmynan 3880 ° C), bu CVD TaC örtügini aşa ýokary temperatura şertlerinde eremezden ýa-da peselmezden ulanmaga mümkinçilik berýär.
Ajaýyp ýylylyk geçirijiligi: TaC örtügi ýokary ýylylyk geçirijiligine eýedir, bu ýokary temperatura proseslerinde ýylylygy netijeli ýaýratmaga we ýerli gyzgynlygyň öňüni almaga kömek edýär.
Mümkin bolan programmalar:
• Gallium Nitride (GaN) we Silikon Karbid epitaksial CVD reaktor komponentleri, wafli göterijiler, emeli hemra gap-gaçlary, duş kelleleri, potoloklar we duýgurlar
• Silikon karbid, galiý nitrid we alýumin nitrit (AlN) kristal ösüş komponentleri, haç çüýleri, tohum saklaýjylary, ýol görkeziji halkalar we süzgüçler
• Garşylyk ýyladyş elementleri, sanjym burunlary, maska halkalary we ýalpyldawuk gaplar ýaly senagat bölekleri
Programma aýratynlyklary:
• 2000 ° C-den ýokary temperatura durnukly, aşa gyzgynlykda işlemäge mümkinçilik berýär
• Wodorod (Hz), ammiak (NH3), monosilana (SiH4) we kremniy (Si) çydamly, agyr himiki şertlerde goragy üpjün edýär
• malylylyk zarbasyna garşylygy has çalt işlemäge mümkinçilik berýär
• Grafitiň berk ýelmeşmesi bar, uzak ömri üpjün edýär we örtük delaminasiýasy ýok.
• Gereksiz hapalary ýa-da hapalary ýok etmek üçin aşa ýokary arassalyk
• Gaty ölçegli çydamlylyk üçin örtükli örtük
Tehniki aýratynlyklar:
CVD tarapyndan dykyz tantal karbid örtüklerini taýýarlamak：
Highokary kristallylygy we ajaýyp birmeňzeşligi bilen TAC örtügi ：
CVD TAC örtügi Tehniki parametrler_Semicera:
Aboveokardakylar adaty gymmatlyklardyr.
