“Semicera” dürli komponentler we göterijiler üçin ýöriteleşdirilen tantal karbid (TaC) örtüklerini üpjün edýär.“Semicera” öňdebaryjy örtük prosesi tantal karbid (TaC) örtüklerine ýokary arassalygy, ýokary temperatura durnuklylygyny we ýokary himiki çydamlylygy gazanmaga, SIC / GAN kristallarynyň we EPI gatlaklarynyň önüminiň hilini ýokarlandyrmaga mümkinçilik berýär (Grafit bilen örtülen TaC duýgur) we esasy reaktor komponentleriniň ömrüni uzaltmak. Tantal karbid TaC örtüginiň ulanylmagy, gyradaky meseläni çözmek we hrustal ösüşiň hilini ýokarlandyrmakdyr, Semicera bolsa tantal karbid örtük tehnologiýasyny (CVD) halkara ösen derejä ýetirip, üstünlik gazandy.
Tantal karbid bilen örtülen wafli göterijiler, ýarymgeçiriji önümçilik prosesinde wafli gaýtadan işlemekde we işlemekde giňden ulanylýar. Önümçilik döwründe wafleriň howpsuzlygyny, takyklygyny we yzygiderliligini üpjün etmek üçin durnukly goldaw we gorag üpjün edýär. Tantal karbid örtükleri daşaýjynyň hyzmat möhletini uzaldyp, çykdajylary azaldyp, ýarymgeçiriji önümleriň hilini we ygtybarlylygyny ýokarlandyryp biler.
Tantal karbid bilen örtülen wafli göterijiniň beýany aşakdaky ýaly:
1. Materiallary saýlamak: Tantal karbidi ajaýyp öndürijiligi, ýokary gatylygy, ýokary ereýän nokady, poslama garşylygy we ajaýyp mehaniki aýratynlyklary bolan materialdyr, şonuň üçin ýarymgeçiriji önümçilik prosesinde giňden ulanylýar.
2. faceerüsti örtük: Tantal karbid örtügi, bitewi we dykyz tantal karbid örtügini emele getirmek üçin ýörite örtük prosesi arkaly wafli daşaýjynyň ýüzüne ulanylýar. Bu örtük gowy ýylylyk geçirijiligine eýe bolmak bilen goşmaça gorag we könelişme garşylygyny üpjün edip biler.
3. Tekizlik we takyklyk: Tantal karbid bilen örtülen wafli daşaýjy, önümçilik döwründe wafleriň durnuklylygyny we takyklygyny üpjün edip, ýokary tekizlik we takyklyga eýe. Wafriň hilini we işleýşini üpjün etmek üçin daşaýjynyň üstüniň tekizligi we gutarmagy möhümdir.
4. Temperaturanyň durnuklylygy: Tantal karbid bilen örtülen wafli göterijiler, ýokary temperatura proseslerinde wafleriň durnuklylygyny we yzygiderliligini üpjün edip, deformasiýa ýa-da gowşamazdan ýokary temperatura şertlerinde durnuklylygy saklap biler.
5. Poslama garşylyk: Tantal karbid örtükleri ajaýyp poslama garşylygy bar, himiki maddalaryň we erginleriň eroziýasyna garşy durup biler we daşaýjyny suwuk we gaz poslamasyndan gorap biler.
bilen we TaC bilen
TaC ulanandan soň (sagda)
Mundan başga-da, Semicera'sTaC bilen örtülen önümlerbilen deňeşdirilende has uzak hyzmat ediş möhletini we has ýokary temperatura garşylygyny görkezýärSiC örtükleri.Laboratoriýa ölçegleri biziň muny görkezdiTaC örtükleriuzak wagtlap 2300 gradusa çenli temperaturada yzygiderli çykyş edip biler. Aşakda nusgalarymyzyň käbir mysallary:
