“Semicera” pudagyň öňdebaryjydygyny görkezýärWafli daşaýjylar, önümçilik prosesiniň dürli etaplarynda näzik ýarymgeçiriji wafli has ýokary goragy we bökdençsiz daşamagy üpjün etmek üçin işlenip düzüldi. BiziňkiWafli daşaýjylardöwrebap ýarymgeçirijiniň berk talaplaryny kanagatlandyrmak üçin, wafliňiziň bitewiligini we hiliniň elmydama saklanmagyny üpjün etmek üçin işlenip düzülendir.
Esasy aýratynlyklary:
• Premium material gurluşygy:Çydamlylygy we uzak ömri kepillendirýän ýokary hilli, hapalanmaga çydamly materiallardan ýasalan, olary arassa otag şertleri üçin amatly edýär.
•Takyk dizaýn:Işlemek we daşamak wagtynda wafliň süýşmeginiň we zaýalanmagynyň öňüni almak üçin ýeriň takyk deňleşdirilmegi we ygtybarly saklaýyş mehanizmleri bar.
•Köpugurly laýyklyk:Dürli ýarymgeçiriji programmalar üçin çeýeligi üpjün edip, wafli ululyklarynyň we galyňlygynyň giň toplumyny ýerleşdirýär.
•Ergonomiki işlemek:Lighteňil we ulanyjy üçin amatly dizaýn, ýüklemegi we düşürmegi aňsatlaşdyrýar, amaly netijeliligi ýokarlandyrýar we işlemegiň wagtyny azaldýar.
•Düzülip bilinýän görnüşler:Aýratyn talaplary kanagatlandyrmak üçin material saýlamagy, ululykdaky düzedişleri we optimal iş akymynyň integrasiýasy üçin bellikleri öz içine alýar.
Icarymgeçirijiniň önümçilik prosesini “Semicera” bilen güýçlendiriňWafli daşaýjylarwafliňizi hapalanmakdan we mehaniki zeperlerden goramak üçin iň oňat çözgüt. Amallaryňyzyň diňe netijeli we netijeli işlemegini üpjün edip, diňe bir önümçilik ülňülerine laýyk gelmeýän, önümçilik standartlaryna laýyk gelýän önümleri bermek üçin hil we innowasiýa baradaky ygrarlylygymyza bil baglaň.
| Harytlar | Önümçilik | Gözleg | Dummy |
| Kristal parametrler | |||
| Politip | 4H | ||
| Faceerüsti ugrukdyryş säwligi | <11-20> 4 ± 0,15 ° | ||
| Elektrik parametrleri | |||
| Dopant | n görnüşli azot | ||
| Çydamlylyk | 0.015-0.025ohm · sm | ||
| Mehaniki parametrler | |||
| Diametri | 150.0 ± 0,2mm | ||
| Galyňlyk | 350 ± 25 μm | ||
| Esasy tekiz ugry | [1-100] ± 5 ° | ||
| Esasy tekiz uzynlyk | 47.5 ± 1,5mm | ||
| Ikinji kwartira | Hiç | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm * 5mm) | ≤5 μm (5mm * 5mm) | ≤10 μm (5mm * 5mm) |
| Aý | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Öň (Si-face) gödeklik (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
| Gurluşy | |||
| Mikrop turbanyň dykyzlygy | <1 ea / cm2 | <10 ea / cm2 | <15 ea / cm2 |
| Metal hapalar | ≤5E10atoms / cm2 | NA | |
| BPD | 001500 ea / cm2 | 0003000 ea / cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea / cm2 | 0001000 ea / cm2 | NA |
| Öň hili | |||
| Öň tarapy | Si | ||
| Faceerüsti gutarmak | Si-ýüzli CMP | ||
| Bölejikler | ≤60ea / wafli (ölçegi≥0.3μm) | NA | |
| Dyrnaklar | ≤5ea / mm. Jemi uzynlygy ≤Diameter | Jemi uzynlygy≤2 * Diametri | NA |
| Pyrtykal gabygy / çukur / tegmiller / çişmeler / çatryklar / hapalanma | Hiç | NA | |
| Gyrasy çipler / görkezijiler / döwük / alty sany plastinka | Hiç | ||
| Polip görnüşleri | Hiç | Jemi meýdany≤20% | Jemi meýdany ≤30% |
| Öňki lazer belligi | Hiç | ||
| Yzky hil | |||
| Yzyna | C ýüzli CMP | ||
| Dyrnaklar | ≤5ea / mm, Jemi uzynlygy≤2 * Diametri | NA | |
| Yzky kemçilikler (gyrasy çipler / görkezijiler) | Hiç | ||
| Yzky gödeklik | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
| Yzky lazer belligi | 1 mm (ýokarky gyradan) | ||
| Gyrasy | |||
| Gyrasy | Çamfer | ||
| Gaplamak | |||
| Gaplamak | Wakuum gaplamak bilen epi taýýar Köp wafli kaseta gaplamasy | ||
| * Bellikler NA "NA" haýyş ýok, agzalmadyk zatlar SEMI-STD-e degişli bolup bilmez. | |||
