Semicera bilen tanyşdyrýarWafli kaset daşaýjy, ýarymgeçiriji wafli ygtybarly we netijeli işlemek üçin möhüm çözgüt. Bu daşaýjy, ýarymgeçiriji pudagynyň berk talaplaryny kanagatlandyrmak üçin öndürilen, önümçilik döwründe wafliňiziň goralmagyny we bitewiligini üpjün edýär.
Esasy aýratynlyklary:
•Ygtybarly gurluşyk:TheWafli kaset daşaýjyýarymgeçiriji gurşawyň berkligine çydamly, hapalanmakdan we fiziki zeperlerden ygtybarly goragy üpjün edýän ýokary hilli, çydamly materiallardan gurlupdyr.
•Takyk deňleşdirme:Wafli takyk deňleşdirmek üçin niýetlenen bu daşaýjy, wafli howpsuz ýerde saklanmagyny üpjün edýär, ulag wagtynda gabat gelmezlik ýa-da zeper ýetmek howpuny azaldýar.
•Ansat işlemek:Ergonomiki taýdan ulanylyş aňsatlygy üçin döredilen daşaýjy, arassalamak şertlerinde iş akymynyň netijeliligini ýokarlandyryp, ýüklemek we düşürmek işini ýönekeýleşdirýär.
•Gabat gelmek:Dürli ýarymgeçiriji önümçilik zerurlyklary üçin köp görnüşli wafli ululyklary we görnüşleri bilen utgaşýar.
“Semicera” bilen deňsiz-taýsyz gorag we amatlylygy başdan geçiriňWafli kaset daşaýjy. Biziň daşaýjymyz, ýarymgeçiriji önümçiliginiň iň ýokary ülňülerine laýyk gelýär, wafliňiziň başyndan ahyryna çenli kadaly ýagdaýda bolmagyny üpjün edýär. Iň möhüm prosesleriňiz üçin zerur hil we ygtybarlylygy üpjün etmek üçin “Semicera” -a ynanyň.
| Harytlar | Önümçilik | Gözleg | Dummy |
| Kristal parametrler | |||
| Politip | 4H | ||
| Faceerüsti ugrukdyryş säwligi | <11-20> 4 ± 0,15 ° | ||
| Elektrik parametrleri | |||
| Dopant | n görnüşli azot | ||
| Çydamlylyk | 0.015-0.025ohm · sm | ||
| Mehaniki parametrler | |||
| Diametri | 150.0 ± 0,2mm | ||
| Galyňlyk | 350 ± 25 μm | ||
| Esasy tekiz ugry | [1-100] ± 5 ° | ||
| Esasy tekiz uzynlyk | 47.5 ± 1,5mm | ||
| Ikinji kwartira | Hiç | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm * 5mm) | ≤5 μm (5mm * 5mm) | ≤10 μm (5mm * 5mm) |
| Aý | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Öň (Si-face) gödeklik (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
| Gurluşy | |||
| Mikrop turbanyň dykyzlygy | <1 ea / cm2 | <10 ea / cm2 | <15 ea / cm2 |
| Metal hapalar | ≤5E10atoms / cm2 | NA | |
| BPD | 001500 ea / cm2 | 0003000 ea / cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea / cm2 | 0001000 ea / cm2 | NA |
| Öň hili | |||
| Öň tarapy | Si | ||
| Faceerüsti gutarmak | Si-ýüzli CMP | ||
| Bölejikler | ≤60ea / wafli (ölçegi≥0.3μm) | NA | |
| Dyrnaklar | ≤5ea / mm. Jemi uzynlygy ≤Diameter | Jemi uzynlygy≤2 * Diametri | NA |
| Pyrtykal gabygy / çukur / tegmiller / çişmeler / çatryklar / hapalanma | Hiç | NA | |
| Gyrasy çipler / görkezijiler / döwük / alty sany plastinka | Hiç | ||
| Polip görnüşleri | Hiç | Jemi meýdany≤20% | Jemi meýdany ≤30% |
| Öňki lazer belligi | Hiç | ||
| Yzky hil | |||
| Yzyna | C ýüzli CMP | ||
| Dyrnaklar | ≤5ea / mm, Jemi uzynlygy≤2 * Diametri | NA | |
| Yzky kemçilikler (gyrasy çipler / görkezijiler) | Hiç | ||
| Yzky gödeklik | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
| Yzky lazer belligi | 1 mm (ýokarky gyradan) | ||
| Gyrasy | |||
| Gyrasy | Çamfer | ||
| Gaplamak | |||
| Gaplamak | Wakuum gaplamak bilen epi taýýar Köp wafli kaseta gaplamasy | ||
| * Bellikler NA "NA" haýyş ýok, agzalmadyk zatlar SEMI-STD-e degişli bolup bilmez. | |||
