Semicera'sWafli kasetasynäzik ýarymgeçiriji wafli ygtybarly saklamak we daşamak üçin döredilen ýarymgeçiriji önümçilik prosesinde möhüm elementdir. TheWafli kasetasyişlemek, saklamak we daşamak wagtynda her bir wafli hapalaýjylardan we fiziki zeperlerden azat bolmagyny üpjün edýär.
Semokary arassalygy, himiki çydamly materiallary bilen gurlan “Semicera”Wafli kasetasyönümçiligiň her bir döwründe wafliň bitewiligini saklamak üçin iň ýokary arassalygy we çydamlylygy kepillendirýär. Bu kassetalaryň takyk in engineeringenerligi, hapalanmak we mehaniki zeper ýetmek howpuny azaldyp, awtomatiki usulda işleýän ulgamlar bilen üznüksiz birleşmäge mümkinçilik berýär.
DizaýnWafli kasetasybelli bir daşky gurşaw şertlerini talap edýän amallar üçin örän amatly howa akymyny we temperatura gözegçiligini goldaýar. Arassa otaglarda ýa-da termiki gaýtadan işlemek wagtynda ulanylsa-da, “Semicera”Wafli kasetasyönümçiligiň netijeliligini we önümiň hilini ýokarlandyrmak üçin ygtybarly we yzygiderli öndürijiligi üpjün edip, ýarymgeçiriji pudagynyň berk talaplaryny kanagatlandyrmak üçin işlenip düzülendir.
| Harytlar | Önümçilik | Gözleg | Dummy |
| Kristal parametrler | |||
| Politip | 4H | ||
| Faceerüsti ugrukdyryş säwligi | <11-20> 4 ± 0,15 ° | ||
| Elektrik parametrleri | |||
| Dopant | n görnüşli azot | ||
| Çydamlylyk | 0.015-0.025ohm · sm | ||
| Mehaniki parametrler | |||
| Diametri | 150.0 ± 0,2mm | ||
| Galyňlyk | 350 ± 25 μm | ||
| Esasy tekiz ugry | [1-100] ± 5 ° | ||
| Esasy tekiz uzynlyk | 47.5 ± 1,5mm | ||
| Ikinji kwartira | Hiç | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm * 5mm) | ≤5 μm (5mm * 5mm) | ≤10 μm (5mm * 5mm) |
| Aý | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Öň (Si-face) gödeklik (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
| Gurluşy | |||
| Mikrop turbanyň dykyzlygy | <1 ea / cm2 | <10 ea / cm2 | <15 ea / cm2 |
| Metal hapalar | ≤5E10atoms / cm2 | NA | |
| BPD | 001500 ea / cm2 | 0003000 ea / cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea / cm2 | 0001000 ea / cm2 | NA |
| Öň hili | |||
| Öň tarapy | Si | ||
| Faceerüsti gutarmak | Si-ýüzli CMP | ||
| Bölejikler | ≤60ea / wafli (ölçegi≥0.3μm) | NA | |
| Dyrnaklar | ≤5ea / mm. Jemi uzynlygy ≤Diameter | Jemi uzynlygy≤2 * Diametri | NA |
| Pyrtykal gabygy / çukur / tegmiller / çişmeler / çatryklar / hapalanma | Hiç | NA | |
| Gyrasy çipler / görkezijiler / döwük / alty sany plastinka | Hiç | ||
| Polip görnüşleri | Hiç | Jemi meýdany≤20% | Jemi meýdany ≤30% |
| Öňki lazer belligi | Hiç | ||
| Yzky hil | |||
| Yzyna | C ýüzli CMP | ||
| Dyrnaklar | ≤5ea / mm, Jemi uzynlygy≤2 * Diametri | NA | |
| Yzky kemçilikler (gyrasy çipler / görkezijiler) | Hiç | ||
| Yzky gödeklik | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
| Yzky lazer belligi | 1 mm (ýokarky gyradan) | ||
| Gyrasy | |||
| Gyrasy | Çamfer | ||
| Gaplamak | |||
| Gaplamak | Wakuum gaplamak bilen epi taýýar Köp wafli kaseta gaplamasy | ||
| * Bellikler NA "NA" haýyş ýok, agzalmadyk zatlar SEMI-STD-e degişli bolup bilmez. | |||
