Icarymhödürlemäge tolgunýar2 "Galiý oksidi substratlary, ösen ýarymgeçiriji enjamlaryň işleýşini ýokarlandyrmak üçin döredilen iň täze material. Galiý oksidinden (Ga) ýasalan bu substratlar2O3), ýokary güýçli, ýokary ýygylykly we UV optoelektroniki programmalar üçin iň oňat saýlama edip, ultra giň zolakly aýratynlygy görkeziň.
Esasy aýratynlyklary:
• Ultra-giň zolak:.2 "Galiý oksidi substratlaryTakmynan 4,8 eV-lik ajaýyp zolak bilen üpjün ediň, ýokary naprýa .eniýe we temperatura işlemäge mümkinçilik berýär, kremniý ýaly adaty ýarymgeçiriji materiallaryň mümkinçiliklerinden has ýokary.
•Aýry-aýry bölek naprýa .eniýesi: Bu substratlar enjamlara ep-esli ýokary woltlary dolandyrmaga mümkinçilik berýär, olary güýçli elektronika, esasanam ýokary woltly programmalarda kämilleşdirýär.
•Ajaýyp ýylylyk geçirijiligi: Has ýokary ýylylyk durnuklylygy bilen, bu substratlar ýokary güýçli we ýokary temperaturaly programmalar üçin amatly aşa ýylylyk şertlerinde-de yzygiderli öndürijiligi saklaýarlar.
•Qualityokary hilli material:.2 "Galiý oksidi substratlaryýarymgeçiriji enjamlaryňyzyň ygtybarly we netijeli işlemegini üpjün edip, pes kemçilikli dykyzlygy we ýokary kristal hilini hödürläň.
•Köpugurly programmalar: Bu substratlar güýç tranzistorlary, Şottki diodlary we UV-C LED enjamlary ýaly birnäçe programma üçin amatly bolup, güýç we optoelektron täzelikleri üçin ygtybarly binýady hödürleýär.
Icarymgeçiriji enjamlaryňyzyň “Semicera” bilen doly mümkinçiligini açyň2 "Galiý oksidi substratlary. Substratlarymyz, ýokary öndürijiligi, ygtybarlylygy we netijeliligi üpjün edip, häzirki zaman programmalarynyň talaplaryny kanagatlandyrmak üçin döredildi. Täzeliklere itergi berýän iň häzirki zaman ýarymgeçiriji materiallar üçin “Semicera” -ny saýlaň.
| Harytlar | Önümçilik | Gözleg | Dummy |
| Kristal parametrler | |||
| Politip | 4H | ||
| Faceerüsti ugrukdyryş säwligi | <11-20> 4 ± 0,15 ° | ||
| Elektrik parametrleri | |||
| Dopant | n görnüşli azot | ||
| Çydamlylyk | 0.015-0.025ohm · sm | ||
| Mehaniki parametrler | |||
| Diametri | 150.0 ± 0,2mm | ||
| Galyňlyk | 350 ± 25 μm | ||
| Esasy tekiz ugry | [1-100] ± 5 ° | ||
| Esasy tekiz uzynlyk | 47.5 ± 1,5mm | ||
| Ikinji kwartira | Hiç | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm * 5mm) | ≤5 μm (5mm * 5mm) | ≤10 μm (5mm * 5mm) |
| Aý | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Öň (Si-face) gödeklik (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
| Gurluşy | |||
| Mikrop turbanyň dykyzlygy | <1 ea / cm2 | <10 ea / cm2 | <15 ea / cm2 |
| Metal hapalar | ≤5E10atoms / cm2 | NA | |
| BPD | 001500 ea / cm2 | 0003000 ea / cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea / cm2 | 0001000 ea / cm2 | NA |
| Öň hili | |||
| Öň tarapy | Si | ||
| Faceerüsti gutarmak | Si-ýüzli CMP | ||
| Bölejikler | ≤60ea / wafli (ölçegi≥0.3μm) | NA | |
| Dyrnaklar | ≤5ea / mm. Jemi uzynlygy ≤Diameter | Jemi uzynlygy≤2 * Diametri | NA |
| Pyrtykal gabygy / çukur / tegmiller / çişmeler / çatryklar / hapalanma | Hiç | NA | |
| Gyrasy çipler / görkezijiler / döwük / alty sany plastinka | Hiç | ||
| Polip görnüşleri | Hiç | Jemi meýdany≤20% | Jemi meýdany ≤30% |
| Öňki lazer belligi | Hiç | ||
| Yzky hil | |||
| Yzyna | C ýüzli CMP | ||
| Dyrnaklar | ≤5ea / mm, Jemi uzynlygy≤2 * Diametri | NA | |
| Yzky kemçilikler (gyrasy çipler / görkezijiler) | Hiç | ||
| Yzky gödeklik | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
| Yzky lazer belligi | 1 mm (ýokarky gyradan) | ||
| Gyrasy | |||
| Gyrasy | Çamfer | ||
| Gaplamak | |||
| Gaplamak | Wakuum gaplamak bilen epi taýýar Köp wafli kaseta gaplamasy | ||
| * Bellikler NA "NA" haýyş ýok, agzalmadyk zatlar SEMI-STD-e degişli bolup bilmez. | |||
