Silikon karbid wafliçig mal hökmünde ýokary arassa kremniý tozy we ýokary arassalyk uglerod tozy, kremniý karbid kristaly fiziki bug geçirmek usuly (PVT) arkaly ösdürilip, gaýtadan işlenýärkremniy karbid wafli.
Aw Çig material sintezi.Purokary arassa kremniý tozy we ýokary arassalyk uglerod tozy belli bir gatnaşyga görä garyndy we kremniý karbid bölejikleri 2000 above-dan ýokary temperaturada sintez edildi.Ezmekden, arassalamakdan we beýleki amallardan soň, kristal ösüşiniň talaplaryna laýyk gelýän ýokary arassa kremniy karbid tozy çig maly taýýarlanýar.
Cry Kristal ösüş.Highokary arassa SIC poroşokyny çig mal hökmünde ulanyp, kristal öz-özünden ösen kristal ösüş peçini ulanyp, fiziki buglary geçirmek (PVT) usuly bilen ösdürilip ýetişdirildi.
③ ingot gaýtadan işlemek.Alnan kremniý karbid kristal ingot rentgen ýeke kristal ugrukdyryjy, soňra bolsa ýer bilen togalanýar we adaty diametrli kremniy karbid kristalyna gaýtadan işlenýär.
④ Kristal kesmek.Köp setirli kesiş enjamlaryny ulanyp, kremniý karbid kristallary galyňlygy 1 mm-den köp bolmadyk inçe kagyzlara kesilýär.
Ip Çip üwemek.Wafli, dürli bölejik ölçegindäki göwher üweýji suwuklyklar bilen islenýän tekizlige we gödeklige esaslanýar.
Ip Çip ýuwmak.Surfaceerüsti zeper ýetmän ýalpyldawuk kremniy karbid mehaniki ýalpyldawuk we himiki mehaniki ýalpyldawuklyk bilen alyndy.
Ip Çip tapmak.Mikrotubulanyň dykyzlygyny, kristal hilini, ýerüsti çişligini, garşylygy, warpage, egrilik, kesgitlemek üçin optiki mikroskop, rentgen diffraktometri, atom güýji mikroskopy, kontakt däl garşylyk synagy, ýerüsti tekizlik barlaýjy, ýerüsti kemçilikli synag ediji we beýleki gurallary we enjamlary ulanyň. galyňlygynyň üýtgemegi, ýeriň çyzylmagy we kremniy karbid wafliniň beýleki parametrleri.Şoňa laýyklykda çipiň hil derejesi kesgitlenýär.
Ip Çip arassalamak.Silikon karbid bilen ýalpyldawuk kagyz, arassalaýjy serişde we arassa suw bilen arassalanýar, polishing listindäki galyndylary we beýleki ýerüsti hapalary aýyrmak üçin arassalanýar, soňra wafli aşa ýokary arassa azot we guradyjy maşyn bilen guradylýar;Wafli, arassa kremniý karbid wafli emele getirmek üçin, gaty arassa kameradaky arassa kagyz gutusyna salynýar.
Çipiň ululygy näçe köp bolsa, degişli kristal ösüşi we gaýtadan işlemek tehnologiýasy şonça kyn we aşaky enjamlaryň önümçilik netijeliligi näçe ýokary bolsa, enjamyň bahasy şonça-da pes bolar.
Iş wagty: Noýabr-24-2023