“Semicera” -nyň “P” görnüşli “SiC Substrate Wafer” ösen elektron we optoelektron enjamlaryny ösdürmek üçin esasy komponentdir. Bu wafli, ýokary güýçli we ýokary temperaturaly şertlerde öndürijiligi we çydamly komponentlere barha artýan islegi goldamak üçin ýörite döredildi.
SiC waflilerimizdäki P görnüşli doping, elektrik geçirijiligini we zarýad göterijiniň hereketini gowulandyrýar. Bu, elektrik energiýasynyň pesligi we ýokary netijeliligi möhüm bolan elektrik elektronikasynda, yşyk-diodly indikatorlarda we fotoelektrik öýjüklerinde ulanmak üçin aýratyn amatly edýär.
Iň ýokary takyklyk we hil ülňüleri bilen öndürilen Semicera-nyň P görnüşli SiC wafli ajaýyp ýerüsti birmeňzeşligi we iň pes kemçilik derejesini hödürleýär. Bu aýratynlyklar, aerokosmos, awtoulag we gaýtadan dikeldilýän energiýa pudaklary ýaly yzygiderlilik we ygtybarlylyk zerur bolan pudaklar üçin möhümdir.
“Semicera” -nyň innowasiýa we kämillige ygrarlylygy, “P” görnüşli “SiC Substrate Wafer” -de aýdyň görünýär. Bu wafli önümçiligiňize goşmak bilen, enjamlaryňyzyň kyn şertlerde netijeli işlemegine mümkinçilik berýän SiC-iň ajaýyp ýylylyk we elektrik aýratynlyklaryndan peýdalanmagyny üpjün edýärsiňiz.
“Semicera” -nyň “P” görnüşli “SiC Substrate Wafer” -e maýa goýmak, häzirki zaman material ylymlaryny çylşyrymly in engineeringenerçilik bilen birleşdirýän önümi saýlamagy aňladýar. “Semicera” ýarymgeçiriji pudagynda üstünlik gazanmak üçin zerur komponentleri üpjün edip, elektron we optoelektron tehnologiýalarynyň indiki neslini goldamaga bagyşlanýar.
| Harytlar | Önümçilik | Gözleg | Dummy |
| Kristal parametrler | |||
| Politip | 4H | ||
| Faceerüsti ugrukdyryş säwligi | <11-20> 4 ± 0,15 ° | ||
| Elektrik parametrleri | |||
| Dopant | n görnüşli azot | ||
| Çydamlylyk | 0.015-0.025ohm · sm | ||
| Mehaniki parametrler | |||
| Diametri | 150.0 ± 0,2mm | ||
| Galyňlyk | 350 ± 25 μm | ||
| Esasy tekiz ugry | [1-100] ± 5 ° | ||
| Esasy tekiz uzynlyk | 47.5 ± 1,5mm | ||
| Ikinji kwartira | Hiç | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm * 5mm) | ≤5 μm (5mm * 5mm) | ≤10 μm (5mm * 5mm) |
| Aý | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Öň (Si-face) gödeklik (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
| Gurluşy | |||
| Mikrop turbanyň dykyzlygy | <1 ea / cm2 | <10 ea / cm2 | <15 ea / cm2 |
| Metal hapalar | ≤5E10atoms / cm2 | NA | |
| BPD | 001500 ea / cm2 | 0003000 ea / cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea / cm2 | 0001000 ea / cm2 | NA |
| Öň hili | |||
| Öň tarapy | Si | ||
| Faceerüsti gutarmak | Si-ýüzli CMP | ||
| Bölejikler | ≤60ea / wafli (ölçegi≥0.3μm) | NA | |
| Dyrnaklar | ≤5ea / mm. Jemi uzynlygy ≤Diameter | Jemi uzynlygy≤2 * Diametri | NA |
| Pyrtykal gabygy / çukur / tegmiller / çişmeler / çatryklar / hapalanma | Hiç | NA | |
| Gyrasy çipler / görkezijiler / döwük / alty sany plastinka | Hiç | ||
| Polip görnüşleri | Hiç | Jemi meýdany≤20% | Jemi meýdany ≤30% |
| Öňki lazer belligi | Hiç | ||
| Yzky hil | |||
| Yzyna | C ýüzli CMP | ||
| Dyrnaklar | ≤5ea / mm, Jemi uzynlygy≤2 * Diametri | NA | |
| Yzky kemçilikler (gyrasy çipler / görkezijiler) | Hiç | ||
| Yzky gödeklik | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
| Yzky lazer belligi | 1 mm (ýokarky gyradan) | ||
| Gyrasy | |||
| Gyrasy | Çamfer | ||
| Gaplamak | |||
| Gaplamak | Wakuum gaplamak bilen epi taýýar Köp wafli kaseta gaplamasy | ||
| * Bellikler NA "NA" haýyş ýok, agzalmadyk zatlar SEMI-STD-e degişli bolup bilmez. | |||
