Silikon karbid (SiC) ýeke kristal materialda uly zolakly boşluk giňligi (~ Si 3 gezek), ýokary ýylylyk geçirijiligi (~ Si 3,3 gezek ýa-da GaAs 10 gezek), ýokary elektron doýgunlygyň göçüş tizligi (~ Si 2,5 esse), ýokary bölek elektrik meýdan (~ Si 10 gezek ýa-da GaAs 5 gezek) we beýleki ajaýyp aýratynlyklar.
SiC enjamlary ýokary temperatura, ýokary basyş, ýokary ýygylyk, ýokary kuwwatly elektron enjamlary we howa, howa, ýadro energiýasy we ş.m. ýaly ekologiki goşundylar bilen adaty ýarymgeçiriji material enjamlarynyň kemçiliklerini öwezini dolup bolmajak artykmaçlyklara eýedir. programmalar we kem-kemden güýç ýarymgeçirijileriniň esasy akymyna öwrülýär.
4H-SiC Silikon karbid substrat aýratynlyklary
Element | Aýratynlyklar 参数 | |
Politip | 4H -SiC | 6H- SiC |
Diametri | 2 dýuým |3 dýuým |4 dýuým |6inç | 2 dýuým |3 dýuým |4 dýuým |6inç |
Galyňlyk | 330 μm ~ 350 μm | 330 μm ~ 350 μm |
Geçirijilik | N - görnüşi / ýarym izolýasiýa | N - görnüşi / ýarym izolýasiýa |
Dopant | N2 (Azot) V (Wanadim) | N2 (Azot) V (Wanadim) |
Ugrukdyrma | <0001> okunda | <0001> okunda |
Çydamlylyk | 0.015 ~ 0.03 ohm-sm | 0.02 ~ 0,1 ohm-sm |
Mikrop turbanyň dykyzlygy (MPD) | ≤10 / cm2 ~ ≤1 / cm2 | ≤10 / cm2 ~ ≤1 / cm2 |
TTV | ≤ 15 μm | ≤ 15 μm |
Aý / Warp | ≤25 μm | ≤25 μm |
Faceüzü | DSP / SSP | DSP / SSP |
Baha | Önümçilik / Gözleg derejesi | Önümçilik / Gözleg derejesi |
Kristal gaplama yzygiderliligi | ABCB | ABCABC |
Paneliň parametri | a = 3.076A, c = 10.053A | a = 3.073A, c = 15.117A |
Mysal üçin / eV (Band-gap) | 3.27 eV | 3.02 eV |
ε (Dielektrik yzygiderli) | 9.6 | 9.66 |
Döwülme görkezijisi | n0 = 2.719 ne = 2.777 | n0 = 2.707, ne = 2.755 |
6H-SiC Silikon Karbid substrat aýratynlyklary
Element | Aýratynlyklar 参数 |
Politip | 6H-SiC |
Diametri | 4 dýuým |6inç |
Galyňlyk | 350μm ~ 450μm |
Geçirijilik | N - görnüşi / ýarym izolýasiýa |
Dopant | N2 (Azot) |
Ugrukdyrma | <0001> 4 ° ± 0,5 ° |
Çydamlylyk | 0.02 ~ 0,1 ohm-sm |
Mikrop turbanyň dykyzlygy (MPD) | ≤ 10 / cm2 |
TTV | ≤ 15 μm |
Aý / Warp | ≤25 μm |
Faceüzü | Si Face: CMP, Epi-taýýar |
Baha | Gözleg derejesi |