Üçünji nesil ýarymgeçiriji materiallara esasan SiC, GaN, göwher we ş.m. girýär, sebäbi zolagyň boşlugynyň giňligi (meselem) 2,3 elektron woltdan (eV) uly ýa-da deňdir, giň zolakly boşluk ýarymgeçiriji materiallar hem diýilýär. Birinji we ikinji nesil ýarymgeçiriji materiallar bilen deňeşdirilende, üçünji nesil ýarymgeçiriji materiallar ýokary ýylylyk geçirijiliginiň, ýokary döwülýän elektrik meýdanynyň, ýokary doýgun elektron göçüş tizliginiň we ýokary baglanyşyk energiýasynyň artykmaçlyklaryna eýedir, bu bolsa häzirki zaman elektron tehnologiýasynyň täze talaplaryna laýyk bolup biler temperatura, ýokary güýç, ýokary basyş, ýokary ýygylyk we radiasiýa garşylygy we beýleki agyr şertler. Milli goranmak, awiasiýa, aerokosmos, nebit gözlemek, optiki ammar we ş.m. ýaly ugurlarda möhüm amaly perspektiwalara eýedir we giň zolakly aragatnaşyk, gün energiýasy, awtoulag önümçiligi ýaly köp strategiki pudaklarda energiýa ýitgisini 50% -den gowrak azaldyp biler, ýarymgeçiriji yşyklandyryş we akylly set, we enjamlaryň göwrümini 75% -den gowrak azaldyp biler, bu adamzat ylmynyň we tehnologiýasynyň ösmegi üçin möhüm ähmiýete eýe.
Element | GaN-FS-CU-C50 | GaN-FS-CN-C50 | GaN-FS-C-SI-C50 |
Diametri | 50,8 ± 1 mm | ||
Galyňlyk厚度 | 350 ± 25 μm | ||
Ugrukdyrma | C tekizligi (0001) M okuna 0,35 ± 0,15 ° burçdan | ||
Baş jaý | (1-100) 0 ± 0,5 °, 16 ± 1 mm | ||
Ikinji kwartira | (11-20) 0 ± 3 °, 8 ± 1 mm | ||
Geçirijilik | N görnüşi | N görnüşi | Insarym izolýasiýa |
Çydamlylyk (300K) | <0,1 Ω · sm | <0.05 Ω · sm | > 106 Ω · sm |
TTV | ≤ 15 μm | ||
BOW | ≤ 20 μm | ||
Aceüzüň ýüzüniň gödekligi | <0,2 nm (ýalpyldawuk); | ||
ýa-da <0,3 nm (epitaksiýa üçin ýalpyldawuk we ýerüsti bejermek) | |||
Faceüzüň üstki gödekligi | 0,5 ~ 1,5 μm | ||
wariant: 1 ~ 3 nm (inçe ýer); <0,2 nm (ýalpyldawuk) | |||
Dislokasiýa dykyzlygy | 1 x 105-den 3 x 106 sm-2 (CL bilen hasaplanýar) * | ||
Makro defekt dykyzlygy | <2 sm-2 | ||
Ulanylýan meýdan | > 90% (gyrasy we makro kemçilikleri aýyrmak) | ||
Müşderiniň talaplaryna, kremniniň, sapfiriň, SiC esasly GaN epitaksial sahypasynyň dürli gurluşyna görä düzülip bilner. |