
Float Zone Wafer, ýüzýän zonany eretmek usuly bilen ösdürilýär (Float Zone eremegiň usuly), zonanyň ereýän wafli, FZ wafli hem ýokary arassa kremniý wafli, kremniý wafli CZ ýeke kristal göni çyzylan prosesi çalşyp biler.CZ usuly bilen öndürilen wafli bilen deňeşdirilende, zonalaşdyrylan wafli möhüm, pes önümçilik ýükleri we ereýän nokat çäklendirmesi ýaly köp artykmaçlyga eýedir, bu olary gün modullary, RF enjamlary we takyk güýç enjamlary ýaly amaly üçin amatly edýär. FZ waflindaky kislorod we uglerod hapalarynyň konsentrasiýasy pes we mehaniki kuwwatyny ýokarlandyrmak üçin azot ýörite goşulýar.
Haryt | Argument | Mysal üçin gözleg |
Mukdary: |
| 100 sany |
Ösüş usuly: | Gämi zolagy | FZ |
Diametri: | 50/75/100/150/200/300mm | 100mm |
Görnüşi / Dopant: | P-görnüşi / N-görnüşi / içerki görnüşi | N görnüşi |
Ugry: | <1-0-0> / <1-1-0> / <1-1-1>或其它 | <100> |
Garşylyk: | 100 ~ 30,000 ohm-sm | 3000 ohm-sm |
Galyňlygy: | 275 um ~ 775 um | 500um |
Jemleýji: | SSP / DSP | DSP |
Kwartira: | Notch / Iki SEMI standart kwartira | Notch |
BOW / WARP: | <10 µm | <40um |
TTV: | <5 µm | <20um |
Baha: | Prime / Test / Dummy | Premýer-ministr |
-
Barrel siňdiriji üçin SiC örtük barrel gurluşy
-
Icarymgeçiriji üçin ýöriteleşdirilen SiC keramiki effektory ...
-
Qualityokary hilli kremniý karbid bilen örtülen ýyladyş Ele ...
-
Grafit Rigid Wakuum peji üçin duýuldy
-
Tantal Karbid TaC CVD örtükli aýratyn bölekler
-
Carbonörite uglerod süýümi grafit gaty duýulýar